微型压电泵系统的设计研究-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １３ ３ 　 Ｖｏｌ．１３ Ｎｏ．３ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００５ ６ Ｊｕｎ．２００５ 　　 　　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００５０３０３１８０６ 　 微型压电泵系统的设计研究 杨树臣，程光明，刘国君，刘建芳 （吉林大学 机械科学与工程学院，吉林 长春 １３００２５） 摘要：提出了一种整机采用迭片式结构，单向阀采用悬臂梁式薄片阀的新结构微型压电泵，设计、制作了 实验用样机泵，设计了正弦信号发生器电路，将产生的正弦信号经过电压放大和功率放大后，作为该泵 的电源驱动，通过对该泵的工作性能进行较为系统的实验测试和研究，提出了利用多腔体串联结构提高 压电泵性能的优化设计方案。实验测试表明，该泵工作性能稳定（样机尺寸： ； Φ１５ｍｍ×１．８ｍｍ ５０Ｖ 正弦信号输入， 条件下，最大输出压力 ，流量达到 ／ ）。该泵的设计方法及所用 ８０Ｈｚ ２２ｋＰａ ３．６ｍｌｍｉｎ 制作工艺可用于研发大量生产的实用微型泵。 关 键 词：悬臂梁阀；微型泵；压电泵；迭片结构 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ＴＨ３８ＴＮ３８４ Ａ 　　 犇犲狊犻狀狅犳犻犲狕狅犲犾犲犮狋狉犻犮犿犻犮狉狅狌犿 犵 狆 狆 狆 ， ， ， ＹＡＮＧＳｈｕｃｈｅｎＣＨＥＮＧＧｕａｎｍｉｎ ＬＩＵＧｕｏｕｎＬＩＵＪｉａｎｆａｎ ｇ ｇ ｊ ｇ （ ， ， ， ） 犆狅犾犾犲犲狅 犕犲犮犺犪狀犻犮犪犾犛犮犻犲狀犮犲犪狀犱犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犑犻犾犻狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犆犺犪狀犮犺狌狀１３００２５犆犺犻狀犪 犵 犳 犵 犵 狔 犵 ： ， 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｔｈｉｓ ａｅｒｉｎｔｒｏｄｕｃｅｓａ ｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃｍｉｃｒｏｕｍ ｗｉｔｈａｎｅｗｓｔｒｕｃｔｕｒｅｂａｓｅｄｏｎｌａｍｉｎａｔｉｏｎ ｐｐ ｐ ｐ ｐ ｗｈｉｃｈａｄｏｔｓａｃａｎｔｉｌｅ