耦合扭转微镜动力学响应边缘效应影响的数值分析.docVIP

耦合扭转微镜动力学响应分析 引言有关扭转微镜的静态特性的分析，许多研究工作者进行了深入的研究[1] [6]，并构建了扭转微镜的非耦合和耦合模型，研究中给出静电驱动力与矩是建立在无穷大基础上，扭转角，微镜静电驱动力与矩，所得结果在步长较小时不稳定。实际微镜有限尺度，因此有必要考虑边缘效应。[6] 、[7]对静电力的边缘效应作了较为详细的分析 本文以上研究基础上，给出了边缘效应后静电驱动力与矩积分表达式，有困难，在计算中数值积分处理法RKG）对非线性动力扭转微镜的动力学模型图1a)是扭转微镜的三维示意图，图中微梁端固，由于静电力的作用，微镜将产生向下的位移和绕微梁的偏转角。图1b)给出了耦合变形下扭转微镜横截面示意图，为沿微镜宽度方向所取的微元板宽度，为该微元上所受到的静电力。若非特殊说明，本文取扭转微镜系统的尺寸参数和材料参数如表1所示表1. 系统尺寸参数和材料参数 名称 参数值 名称 参数值 名称 参数值 微镜宽度 100μm 微梁长度 65μm 微镜和电极的距离 2.75μm 微镜长度 100μm 微梁厚度 1.5μm 多晶硅弹性模量 169Gpa 微镜厚度 1.5μm 电极宽 0.06 多晶硅剪切模量 66Gpa 铝层厚度 0.5μm 电极宽 0.84 多晶硅的密度 2300Kg/m3 微梁宽度 2μm 铝的密度 2700Kg/m3 耦合系统的动力学方程可表示如