用STM的纳米导电图形加工技术的研究.PDF

第 22 卷 　第 2 期 真 　空 　科 　学 　与 　技 　术 　　　　　　　　　　 ( ) 　　　　　　　　　　　　　　　　 2002 年 3 月 VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY CHINA 123 　 用 STM 的纳米导电图形加工技术的研究 1) 潘 　钢 　严学俭 　吉小松 　叶钢锋 　张 　群 　章壮健 　华中一 (复旦大学材料科学系 　上海 　200433) Studies of Nanometer Scale Conductive Patterning by STM Pan Gang ,Yan Xuejian ,Ji Xiaosong ,Ye Gangfeng ,Zhang Qun ,Zhang Zhuangjian ,Hua Zhongyi ( ) Department of Materials Science , Fudan University , Shanghai , 200433 , China 　　Abstract 　Nanometer scale conductive patterns have been produced on thin films of electrical bistable organic complexes using the tip of scanning tunneling microscope ( STM) with intense electric fields. Experiments showed that the STM tip should be carefully prepared. Fabrication of nanometer scale patterns on a flat surface of AgTCNQ was realized when we chose the appropriate bias voltage ,pulse height and duration of negative voltage pulses and suitable distance between tip and sample before processing. 　　Keywords 　Conductive patterning ,STM ,Nanometer scale fabrication ,AgTCNQ 　　摘要 　用 STM 针尖对有机络合物电双稳薄膜材料施加强电场作用 ,可在材料表面产生纳米线度的导电几何图形。实验 证明 :对针尖本身的几何构形、施加在针尖上的脉冲幅度、周期和占空比都必须进行细致的选择。用 AgTCNQ 络合物进行实 验 ,在适合的针尖样品距离下 ,发现所加脉冲偏压的极性为负时 ,容易进行加工。 关键词 　导电图形 　扫描隧道显微镜 　纳米加工 　AgTCNQ ( ) 中图分类号:TN605 　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 2002 　　微电子技术作为现代高科技的重要支柱 ,经历 将目前大规模集成电路的线条宽度从微米数量级降 了若干发展阶段 ,现在国际上生产的半导体集成电 到纳米数量级。近年来 ,通过 STM 中的电子诱导淀 路最小线条宽度为 013 μ