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垂直连续电镀试验线操作及维护保养规范 1.0 安全事项 若发生意外或事故，立刻按下紧急停止按钮。 清楚所有紧急停止按钮的位置和使用方法。 清楚所有冲洗眼睛点的位置和使用方法。避免眼睛或皮肤接触或吸入化学品。若皮肤或眼睛受到化学品灼伤时，立即用大量清水冲洗，严重者需找医生检查。 必须穿戴上橡胶手套、防护面罩、防护衣服去处理化学品。 手须远离移动中的滑轨、移动架。 2.0 设备及物料 2.1 设备 设备名称 主要结构 供应商 设备生产能力 垂直连续电镀线 管理槽 NICS 最大板尺寸：25”*20” 最小板尺寸：16”*13” 生产板板厚：0.1～1.6mm 盲孔孔径：3mil、4mil、5mil 镀铜厚度：25um 电镀铜缸 2.2 物料 名称 规格 用途 备注 ST-901 Additive ----------------- 预镀铜缸、镀铜缸开缸及添加用 普通电镀时，镀铜缸添加此药水；罗门哈斯提供 ST-901 Carrier ----------------- 预镀铜缸、镀铜缸开缸及添加用 普通电镀时，镀铜缸添加此药水；罗门哈斯提供 VF-AN ----------------- 镀铜缸开缸及添加用 Microfill电镀时，镀铜缸添加此药水；罗门哈斯提供 VF-BN ----------------- 镀铜缸开缸及添加用 Microfill电镀时，镀铜缸添加此药水；罗门哈斯提供 硫酸 98%，CP级 预镀铜缸、镀铜缸、浸酸缸开缸及添加用 强腐蚀性 硫酸铜 C.P 预镀铜缸、镀铜缸开缸及添加用 -------------------------- 盐酸 35%，AR 预镀铜缸、镀铜缸开缸及添加用 强腐蚀性 滤芯 500mm×5μm 预镀铜缸、镀铜缸、除油缸过滤用 -------------------------- 3.0 工艺流程、控制参数 3.1 工艺流程： 酸洗→上板→电镀→下板→水洗→烘干 3.2 控制参数 3.2.1 生产控制参数 槽名 控制参数 控制范围 控制点 分析频率 换槽频率 负责部门 Microfill 镀铜 温度（℃） 22-26 24 1次/天 每半年进行1次活性碳处理 生产部 硫酸（ml/l） 40-60 50 1次/周 化验室 硫酸铜含量（g/l） 180-220 200 1次/周 化验室 氯离子（ppm） 40-80 60 1次/周 化验室 VF-AN（ml/L） 0.25-0.5 0.35 1次/周 化验室 VF-BN(ml/L) 5-50 10 1次/周 化验室 ST-901 镀铜 温度（℃） 22-26 24 1次/天 每半年进行1次活性碳处理 生产部 硫酸（ml/l） 90-110 100 1次/周 化验室 硫酸铜含量（g/l） 90-110 100 1次/周 氯离子（ppm） 40-80 60 1次/周 ST-901Additive（ml/L） 1-3 1.8 1次/周 ST-901 Carrier(ml/L) 15-25 20 1次/周 注：1 ) 化学实验室负责每周做一次赫尔槽实验对铜缸进行监控。 2）每周分析2次的项目，需间隔3天分析一次。 3）生产部根据每次化验室分析数据调整槽液，温度需以温度计实际测量。 3.2.2 配槽药品用量 必须按下表所列的药品用量进行配槽，以保证槽内化学品的正常浓度。 槽名 药水 配槽比例 槽体积（L） 配槽量(L) Microfill镀铜 CuSO4.5H2O H2SO4(98%) Cl- VF-AN VF-BN 200g/l 50ml/l 50ppm 0.5ml/l 10ml/l 2200 440KG 110L 250ml 1.1L 22L ST-901镀铜 CuSO4.5H2O H2SO4(98%) Cl- ST-901 AmAdditive ST-901 Carrier Make-up Carrier 100g/l 100ml/l 50ppm 2ml/l 5ml/l 3ml/l 2200 220KG 220L 250ml 4.4L 11L 6.6L 4.0 清槽步骤 4.1 清槽 1．用高压水冲洗槽体，并人工用百洁布擦洗槽壁及槽体。 2．用3—5%的NaOH溶液浸泡8小时，并开启循环泵（不放滤芯）。 3．用自来水冲洗干净。 4．用3—5%的H2SO4（98%）溶液浸泡8小时，并开启循环泵。 5．用自来水冲洗干净。 6．用纯水冲洗干净，且用纯水循环1—2小时。 4.2 PP 滤芯清洗流程 1．用热DI水洗约30-60分钟。 2．浸入10% 硫酸约8 小时。 3．用DI水洗净。 5.0 配槽流程 5.1 Micr