多弧离子镀(TiW)xN合金涂层组织与性能.PDFVIP

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2018-08-17 发布于天津
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多弧离子镀(TiW)xN合金涂层组织与性能

( Ti , W ) x N 33 (T i, W) N x M icrostructure and Properties of ( T i, W) N Alloy Coatings x - Deposited by Multi Arc Ion Plat ing , , , , ( , 10643) ZENG Peng, HU She-jun, XIE Guang-rong, HU NG Na-can, WU Qi-bai ( College of M aterials and Energy Sources, Guangdong University of T echnology , Guangzhou 10643, China) : Ti/ W (Ti, W) N , x , , , ( Ti, W) N, 2 , : ; (T i, W) N ; ; x : T G 142; O484: A : 1001-4381 ( 2000) 09-0033-03 : ( , ) x - / Abstract Ti W N coatings w ere deposited by multi arc ion plating using the Ti W composite , , cathode target The microstructure and properties of the coatings w ere studied The results show ed ( , ) 2 - that the coatings consisted of Ti W N mainly had low porosity and high micro hardness and , oxidation resistance T he composition demixing phenomena betw een coatings and composite target w as analyzed, : - ; ( , ) x ; ; Key words multi arc ion plating Ti W N coating microstructure and properties composition demixing TiN , 1 , 1. 1 , (T i, Bulat-6 [ 13] [ 4] [ ] , [ 7] Ti Al) N , (T i, Cr) N , (Ti, Zr) N (Ti, Fe, [ 6] Cr) N