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透光导电ITO膜的制备及其光电特性的研究-光子学报
319 Vol31 No9
2002 9 ACTA PHOTONICA SINICA September 2002
ITO
周引穗 王 俊 杨晓东 董庆彦 高爱华 胡晓云 陆治国
( 710069)
采用溶胶-凝胶方法制备ITO 膜,并从制备 艺上研究了各种因素对ITO 膜光电特性
的影响最后制出的ITO 膜厚度约为50nm,在可见光区平均透射比达97 , 最高达99. 55 ,
电阻率在2. 0cm 左右, 最低达到0. 31cm
ITO 膜; 溶胶-凝胶;光电特性
0
, ,
1
, n 0. 6~ 0.7mol
, ( Indium tin oxide 5
ITO
( ITO) ) , 3. 5~ 1.2 ITO
21 - 3
4.3eV, 10 cm , 1. 0cm 1. 0cm ,
, ,,
,, ITO
, ,
2~ 4 0.15cm/s
,,
,550 1h
6,7
,
-ITO , 1.3 ITO
ITO ITO ,
,
;
1
; 4
1.1 ITO
In( NO ) 4. 5H O 2
3 3 2
SnCl 5H O 25mL 0. 1M ,
4 2 2.1 Sn ITO
, 3. 3mL 4. 0M , Sn ,
, , 550
, ,25mL
ITO 12
,pH 8. 0
1, Sn ITO ,
10~ 12h,,
, Sn
, ,
2, Sn ITO ,
50mL,6~ 7 ,
, Sn 12 Sn,
,(), , Sn , , Sn
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