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昆明冶金高等专科学校《自动检测技术》第06章
6.2.2 压电元件常用的结构形式 在压电式传感器中,单片压电元件的输出电荷很小,必须有很大的作用力才能产生足够的表面电荷。通常将两片或多片压电晶片组合在一起,在两个表面上镀电极,引出引线。 1.并联接法 两块压电片并联,两片压电晶片的负电荷集中在中间极板上,正电荷集中在两侧的极板上。 2.串联接法 两块压电片串联,正电荷集中于上极板,负电荷集中于下极板。在外力作用下,正电荷在上极板,负电荷在下极板,中间极板上片产生的负电荷与下片产生的正电荷抵消。 6.3 压电式传感器的测量电路 1 压电式传感器的等效电路 压电传感器在受外力作用时,在两个电极表面将要聚集电荷,且电荷量相等,极性相反。这时它相当于一个以压电材料为电介质的电容器,其电容量为 当两极板聚集异性电荷时,两极板就呈现一定大小的电压 可以把压电式传感器等效成一个与电容相并联的电荷源。 (a) 电荷源 (b) 电压源 压电传感器的等效电路 * * 自动检测技术 清华大学出版社出版 主编:刘小波 第6章 压电式传感器 本章要点 压电元件及其压电效应 压电式传感器的等效电路及测量电路 压电传感器的应用 任务一 压电式金属加工切削力测量 对金属切削加工过程中的切削力进行实时测量,是研究切削机理的基本实验手段和主要研究方法。通过对实测的切削力进行分析处理,可以推断切削过程中的切削变形、刀具磨损、工件表面质量的变化机理。在此基础上,可进一步为切削用量优化,提高零件加工精度等提供实验数据支持。 压电式刀具切削力测量示意图 切削力测量实际工作状态 压电式传感器位于车刀前部的下方,它如同一把普通的外圆车刀,当进行切削加工时,切削力通过刀具传递给压电陶瓷元件。压电传感器将切削力转换为电荷信号经电荷放大器输出,记录下电信号的变化,便测得切削力的变化。 6.1 压电式传感器的工作原理 压电式传感器的工作原理是基于某些物质的压电效应,它是一种典型的有源传感器,即自发电式传感器。压电式传感器是力敏感元件,可以测量最终能转换为力的物理量,例如动态力、动态压力、振动、加速度等,但不能用于静态参数的测量。 各种类型的压电式传感器 6.1.1压电效应 某些电介质,在一定方向受到压力或拉力作用而发生变形时,内部将产生极化现象,其表面上会产生符号相反的电荷,当外力去掉时,又重新恢复到不带电的状态,这种现象称为压电效应。 相反,在电介质极化方向施加电场,这些电介质就在一定方向产生机械变形或应力,当外电场撤除,变形或应力也随之消失,这种现象称为逆压电效应,又称为电致伸缩效应 。 人们把这种机械能转变成电能的现象称为正压电效应。 6.1.2 石英晶体的压电效应 天然石英晶体 石英晶体切片及封装 石英晶体薄片 双面镀银并封装 石英晶体振荡器(晶振) 石英晶体在振荡电路中工作时,压电效应与逆压电效应交替作用,从而产生稳定的振荡输出频率。 晶体的外形 坐标系 切片 从晶体上沿xyz轴线切下的一片平行六面体的薄片称为晶体切片。它有3个晶轴,其中z轴与晶体纵向轴一致,称为光轴。x轴通过两个相对的棱线,称为电轴。垂直于此轴的晶面上有最强的压电效应。垂直于xOz平面的y轴为机械轴,在电场作用下,y轴方向有最明显的机械变形。它的6个面分别垂直于光轴、电轴和机械轴。 1. 纵向压电效应 当沿着x轴对晶片施加力Fx时,将在x面上产生电荷Qx,它产生的电荷量Qx正比于作用力Fx,与晶体切面尺寸无关,其大小为 2. 横向压电效应 若在同一切片上,沿着y轴施加力Fy时,电荷Qy仍出现在x面上,产生的电荷与作用力的大小成正比,与晶片尺寸有关。其大小为 电荷Qx和Qy的符号是由受压力还是受拉力所决定。 (a) x轴方向受压力 (b) x轴方向受拉力 (c) y轴方向受压力 (d) y轴方向受拉力 晶体切片上电荷极性与受力方向的关系 3. 石英晶体压电效应的产生机理 未受力的石英晶体 受y向压力时的石英晶体 受x向压力时的石英晶体 ① 当石英晶体未受外力作用时,正、负离子正好分布在正六边形的顶角上。 此时,正、负电荷中心重合。这时晶体表面不产生电荷,整个石英晶体从整体上说不呈现带电现象。 ② 当晶体沿x轴方向受到压力时,晶格产生压缩变形 。 硅离子的正电荷中心上移,氧离子的负电荷中心下移,正负电荷中心分离,造成上表面带了正电荷,下表面带了负电荷而形成电场。反之,如果受到拉力作用时,则上下表面出现电
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