高精度微型cnc综合加工机之结构设计与分析.ppt

高精度微型CNC綜合加工機之結構設計與分析 班級：碩研機械二甲 姓名：張詔銘 學號：M9910103 指導教授：朱志良 教授、呂金塗 副教授 Date：2012.03.07 Structural Design and Analysis of Precision micro-CNC machine Electro-Optical Metrology Laboratory Dept. Mechanical Engineering, STUT Outline 摘要 研究動機與目的 研究方法 結果與討論 結論 參考文獻 * 摘要 本研究已完成高精度微型CNC綜合加工機，結構主要分為三部分，分別為機台主體架構、Z軸的設計及XY長行程平台。 機台主體架構以雙拱形結構做為支撐本體的基本架構，並經有限元素軟體(Ansys)分析驗證其結構之剛性。 Z軸採用EROWA的快速轉接頭以達成快速換刀之目的。並使用同軸配重塊設計來節省空間，使之更容易達成微型化。 XY長行程平台採用堆疊式設計，其行程可達100mm。 整體機台尺寸為485mm x 485mm x 448mm。 * 研究動機與目的 現今許多零件越趨微小化，並融入多工的製程。而目前市售的加工機都只是單一加工且體積龐大又昂貴。 研製一台高精度微型CNC綜合加工機，其加工分為C軸放電加工、高速銑削以及使用探頭來做量測。 研究動機 目的 * 研究方法 結構設計 (包含本體、Z軸及平台) 以SolidWorks 建立3D圖檔並模擬模擬運動型態 經由Ansys Workbench分析其結構 加工所有零組件並組裝 機台測試 完成 修改 檢查 * 結構設計與分析 轉接頭 雙拱型主體 油箱 線性馬達 極限感測器 配重塊 XY平台 墊高塊 線性馬達 X軸、Y軸與Z軸 線性馬達為UM6N系列 最大推力200N 光學尺 NUMERIK JENA LIA20：解析度50nm * 結構設計與分析 (2/4) 矩形結構 單拱形結構 雙拱形結構 矩形結構 單拱形結構 雙拱形結構 傳統立柱形結構 變形量 (um) 2.1878 1.1032 0.082763 11.192 應力 (MPa) 0.30398 0.22516 0.050832 0.4061 傳統立柱形結構 邊界條件：固定腳座，施加自身重量。 * 結構設計與分析 (3/4) R1 (mm) R2 (mm) Total Deformation Maximum (um) Equivalent Stress Maximum (MPa) 1 200 170 0.076963 0.042639 2 205 175 0.078211 0.041056 3 210 180 0.079627 0.045305 4 215 185 0.081134 0.044553 5 220 190 0.082763 0.050832 6 225 195 0.084394 0.047033 7 230 200 0.086121 0.054472 8 235 205 0.087953 0.056267 最佳化尺寸分析 * 結構設計與分析 (4/4) 模態分析 模態頻率 (Hz) 模態1 359.92 Hz 模態2 362.73 Hz 模態3 576.57 Hz 模態4 813.91 Hz 模態5 845.8 Hz 模態6 1145.7 Hz 邊界條件設定 變形量(um) 應力 (MPa) 雙拱形結構 (未加墊高塊) 承受自身重量 0.083 0.051 雙拱形結構 (加墊高塊後) 承受自身重量 0.311 0.102 Z軸施加30N之力 0.441 0.165 結構自重與給予外力情況 雙拱形結構(Z軸施加30N之力) 模態分析(模態1：359.92Hz) * XY軸平台設計 線性滑軌 線性馬達 「動子」 線性馬達 「定子」 光學尺 上層板 中層板 底層板 平台運動型態： * 結果與討論 XYZ三軸定位精度量測 X-axis Y-axis Z-axis Position (mm) 80 mm 80 mm 40 mm Mean Error(um) -0.695um -22.526 um -42.856 um X-axis Y-axis Z-axis 定位誤差 * 結論 經過Ansys驗證，雙拱形結構之剛性確實較傳統立柱形結構佳。 XY堆疊式平台，雖行程較長，但在結構設計上會有Abbe誤差產生。 使用雷射干涉儀測試其三軸精度，Y軸及Z軸之精度較不理想，待需改良。 完成後機台整體尺寸確實較一般市售機台小且成本底。 * 參考文獻 [1] Ivano Beltrami,et al.,”Micro- and nanoelectric-discharge machining,” Journal