低损耗有机无机混合溶胶凝胶波导的试验研究3.PDF

第 35卷第 4 期 光 　子 　学 　报 Vol. 35 No. 4 2006年 4 月 　　　　　　　　　　　　ACTA PHO TON ICA SIN ICA Ap ril 2006 低损耗有机无机混合溶胶凝胶波导的实验研究 庞拂飞 　韩秀友 　蔡海文 　方祖捷 (中科院上海光学精密机械研究所 ,上海 20 1800) 摘 　要 　利用有机无机混合的溶胶凝胶方法在硅基底上制备波导薄膜 采用正硅酸四乙酯和苯基 三乙氧基硅烷作为反应先驱物 ,利用旋涂的方法成膜 ,对其折射率 ,传输损耗以及条形波导的光刻 、 刻蚀特性进行了研究 测量了波导薄膜折射率随成分变化的关系 实验表明 ,该方法工艺简单 ,可 以获得具有较低损耗的波导薄膜 测试得到 632. 8 nm 波段的损耗系数为 0. 23 dB / cm 采用 ICP 刻蚀工艺获得了较为平整的条形波导 关键词 　溶胶 凝胶法 ;有机 无机混合波导 ; ICP 中图分类号 　　TN 252　　　　文献标识码 　　A 间的水解速度差 ,因此更容易得到均匀的溶胶 通 0　引言 过 Ph te s的水解反应在溶胶中引入苯基有机成分 , 光纤通信系统中 ,平面波导光路在接入网、宽带 成膜后实现对 SiO2 交联网络结构的有机改性 ,达到 网、密集波分复用系统和全光网等方面具有广阔的 对波导薄膜折射率的进行调节的目的 根据参考文 应用潜力 , 国内外许多研究机构从事各种材料 、工艺 献 [ 5 ] ,配制的溶液中硅成份和 乙醇的摩尔 比为 和器件的研究 获得平面波导薄膜的方法通常有三 0. 65 ∶1,水和乙氧基的摩尔比为 0. 7 ∶1配制好的 种 :火焰水解法 [ 1 ] 、化学气相沉积法 [ 2 ] 和溶胶 - 凝 溶液盛在烧瓶内,在可控温的磁力搅拌器的水浴上 胶法 [ 3 ] 加热 50 ℃;采用球形冷凝管进行回流 ,反应时间为 利用硅醇盐先驱物制备薄膜及其特性的研究已 24 h ,即得到透明溶胶 经受到广泛的关注 , Duan L i Ou[ 4 ] 等人通过红外光 ( ) 利用旋涂 Sp inCoating 的方法在带有热氧化 谱对苯基改性的二氧化硅材料进行了分析 , 其在 层的硅基片上成膜 ,基片的尺寸为 20 ×20 ×0. 5 mm , 1300 nm 和 1500 nm 的通信窗口具有较低的吸收损 μ 热氧化层的厚度 15 m 在使用之前基片必须进行 耗 ,而且由于其简单的工艺过程以及低的设备成本 , 清洗 ,利用丙酮 ,强酸以及去离子水清洗后 ,再用超 利用其制备光通信波导器件具有实际意义 声清洗 20 m in ,最后烘干 成膜旋速为 1500 rpm ,旋 通常有机无机混合溶胶 凝胶方法制备光波导 涂时间 30 s,可以得到均匀透明的波导薄膜 薄膜是利用 甲基丙烯酰氧基丙基三 甲氧基硅烷和 旋涂后的基片在管式控温炉中退火 ,并通氮气 Zr, A l等醇盐水解 缩聚反应 [ 3 ] ,此过程存在各个先 进行保护 由于溶胶 凝胶工艺是利用水解