二维平面光栅角色散公式的完整解析形式及分析-国家光栅制造与应用.PDF

维普资讯 第53卷 第 12期 2004年 12月 物 理 学 报 Vo1．53，No．12，December，2004 1000．3290／2004／53(12)4／181-08 ACTA PHYSICA SINICA ⑥2004Chin．Phys．Soc． 二维平面光栅角色散公式的完整解析形式及分析* 巴音贺希格 唐玉国 齐向东 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 ，长春 130033) (2004年 1月31日收到；2004年 3月23日收到修改稿) 在矢量衍射理论基础上给出了任意人射状态下二维平面光栅的光栅方程，推导出二维平面光栅角色散公式的 完整解析形式 ，确立了二维平面光栅衍射极角角色散 (第一类角色散)和衍射方位角角色散 (第二类角色散)的概 念．通过二维平面光栅衍射极角和衍射方位角角色散的理论分析和数值计算，阐明了当人射波矢偏离光栅法线 时，衍射光斑阵列发生畸变的机理，并明确指出了引起衍射方位角角色散的突变、导致衍射光斑阵列剧烈变化的条 件，因而具有理论上的意义．在实际应用方面，以晶体和量子点的x射线衍射、低能电子衍射和反射式高能电子衍 射为例，或许可以利用导出的公式检验、分析和解释晶体的点阵结构及晶体的生长过程 ，进而由此寻找表征晶体结 构 的新途径 ． 关键词：二维平面光栅，衍射极角角色散，衍射方位角角色散，晶体电子衍射 PACC：4210，4110H 了矩孔光栅的衍射效率，并数值考察了矩孔金属光 1．引 言 栅的偏振特性；文献 [5—9]以所谓严格的耦合波理 论计算和分析了二维表面浮雕结构的消偏振、减反 通常把衍射单元在二维方向上周期排列的光栅 射特性；文献[10，11]采用 “逆规则”傅里叶展开法分 称为二维光栅或网格光栅．根据二维方向的相对位 别研究了正交浮雕光栅问题的收敛性 ，大大提高了 置不同又可分为正交光栅和交叉光栅．从光栅周期 计算速度；文献 [12—14]对二维电磁各向异性浮雕 与使用波长比较来看，光栅周期大于使用波长若干 型介质光栅的衍射特性进行了理论分析，为实际光 倍情形的称为大周期光栅 ，光栅周期接近或小于使 栅的参量优化设计提供了有用的方法．这些具有创 用波长的称为小周期光栅或亚波长光栅 ．我们知 造性的工作既丰富了光栅理论研究的内容，又为光 道，从20世纪60年代开始，以借助数值模拟手段分 栅的设计、制作和应用提供了重要的理论依据． 析光栅衍射特性为特征的严格矢量衍射理论 ，随着 一 般认为，矢量衍射理论在分析亚波长光栅衍 电子计算机运算能力的迅速提高应运而生并得以不 射特性时具有独特优势，因而衍射效率、偏振特性 、 断繁荣．目前它 已逐渐发展成为一种公认 的成熟的 抗反射特性和全反射特性 等问题成为其主要 的 光学研究理论，其优势在于分析亚波长光栅的衍射 研究对象 ．与此形成鲜明反差的事实是采用矢量衍 特性 ．随着一维亚波长光栅的基本性质业 已明朗， 射理论研究大周期光栅，尤其是研究二维光栅的报 人们又从20世纪90年代初开始，试图采用矢量衍 道不多见．但研究发现，基于矢量衍射理论对大周 射理论解决二维平面光栅问题 ．加之通过二元光学 期二维光栅的色散规律展开讨论极为便利，能够得 技术在物体表面制造任意相位分布的亚波长量级的 到其角色散公式的完整解析形式，这一点标量衍射 圆形或矩形孔、柱、锥阵列，以满足所要求的衍射效 理论不易做到．其实，大周期二维光栅的用途也十 率或者其他一些 目的已经成为可能．因此，计算二维 分广泛，