硅基光栅耦合器的研究进展-物理学报.PDFVIP

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 62, No. 18 (2013) 184214 硅基光栅耦合器的研究进展* 杨彪 李智勇 肖希 Nemkova Anastasia 余金中 俞育德† ( 中国科学院半导体研究所, 集成光电子学国家重点实验室, 北京 100083 ) ( 2013年4月15 日收到; 2013年5月7 日收到修改稿) 硅基光子集成芯片的研究近年来发展迅速, 已成为信息技术领域中最热门的研究方向之一, 光通信、光互连、 光传感等相关研发应用机构高度关注其发展, 并积极介入. 硅基光子集成芯片中, 光栅耦合器作为光信号的输入和 输出装置受到极大重视, 尤其在封装和测试等环节体现出极具价值的技术优势. 本文主要分析了光栅耦合器的工作 原理、基本特性及国内外的发展现状和趋势, 同时也概括了本课题组近期在该方向上的研究成果. 关键词: 光栅耦合器, 耦合效率, 绝缘体上硅, 光子集成 PACS: 42.79.Gn, 42.82.Et, 42.79.Dj DOI: 10.7498/aps.62.184214 采用片上混合集成的光增益材料. 因此, 光子集成 1 光栅耦合器的应用背景 芯片在片内和片外都需要高效率、大带宽、易集 成的光耦合结构. 常用的两种耦合方式一般采用端 大数据时代正步入现实. 而传统的电互连12 面水平耦合结构或者片上垂直耦合结构. 相比于其 由于电子物理特性的局限, 其技术发展日益面临 他各种光耦合器, 光栅耦合器利用片上光波导的垂 数据传输快速膨胀的需求挑战, 在带宽拓展、传输 直衍射光场实现光信号输入或输出芯片, 具有易于 延迟、损耗控制、信噪提升等方面亟待根本性突 在线片上测试、不需要晶圆或芯片预处理、也没 34 破 , 这促使研究人员开始寻找新的解决方案. 硅 有严格的空间限制等优点, 成为硅基光子集成领域 基光子器件采用光传输信号, 相比于电子, 光子传 的研究热点. 随着CMOS 工艺精度的逐步提高, 微 输速度远大于电子运动速度, 而且光传递信号的机 米级别甚至是纳米级别的硅基波导器件也逐渐摆 理是波阻抗变换, 这种变换消耗的能量很低, 在传 脱工艺的限制, 光栅耦合器也逐渐显示出其特有的 输时信号不易发生畸变, 在大带宽条件下可以获得 技术优势, 本文主要阐述了近几年来光栅耦合器的 更大的传输容量. 而且硅基光子器件还具有与互 发展现状和未来趋势. 补金属氧化物半导体(CMOS) 工艺兼容、尺寸小、 通讯波段透明、抗辐射等优点. 正是由于具备大带 2 光栅耦合器的基本原理 5 宽、低延迟、低能耗、低串扰等优势 , 基于硅光 子集成的光通信、光互连和光传感等新兴信息技 光栅耦合器是一种衍射结构. 布拉格条件可用 术展现出构建新型信息硬件的发展趋势, 正成为新 于描述光栅中入射光和衍射光波矢之间的关系( 图 一代信息系统和网络的重要基础. 1(a)). 对于周期性的衍射结构, 布拉格条件为 对于硅基光子集成芯片而言, 不容忽视的一个 Kz Kinz mK m 0±1±2±3 ··· (1) 6 关键问题是光信号的输入与输出 . 尤其是硅作为 对于光栅结构的布拉格条件则可以表示为