计量型扫描电子显微镜测控系统研究-计量学报.PDFVIP

第３７卷　第５期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３７，№５ ２０１６年　９月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　Ｓｅｐｔｅｍｂｅｒ，２０１６ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１６．０５．０１ 计量型扫描电子显微镜测控系统研究 １，２ ２ ２ １ ２ ２ 张瑞军 ，　高思田 ，　李　伟 ，　陈本永 ，　施玉书 ，　李　琪 （１浙江理工大学，浙江 杭州３１００１８；２中国计量科学研究院，北京 １０００２９） 摘要：为了解决扫描电子显微镜（ＳＥＭ）在１００ｎｍ以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足，实现ＳＥＭ 测量值的量值传递与溯源，研制了一套计量型ＳＥＭ测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移 测量模块和图像采集与处理模块组成，基于ＬａｂＶＩＥＷ图形编程语言开发了测控系统上位机软件。对 １ ｍ×１ ｍ μ μ 二维栅格样品进行尺寸测量实验，结果表明，该计量型ＳＥＭ测控系统运行稳定可靠，且在 １０ ｍ测量范围内的测 μ 量值示值误差优于１０ｎｍ。 关键词：计量学；计量型扫描电子显微镜；量值溯源；运动控制模块；激光外差干涉；图像采集与处理； ＬａｂＶＩＥＷ 中图分类号：ＴＢ９２　　　　文献标识码：Ａ　　　　文章编号：１０００１１５８（２０１６）０５０４５７０５ ＳｔｕｄｙｏｎｔｈｅＭｅａｓｕｒｉｎｇａｎｄＣｏｎｔｒｏｌＳｙｓｔｅｍｏｆ ＭｅｔｒｏｌｏｇｉｃａｌＳｃａｎｎｉｎｇＥｌｅｃｔｒｏｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ １，２ ２ ２ １ ２ ２ ＺＨＡＮＧＲｕｉｊｕｎ ，　ＧＡＯＳｉｔｉａｎ，　ＬＩＷｅｉ，　ＣＨＥＮＢｅｎｙｏｎｇ，　ＳＨＩＹｕｓｈｕ，　ＬＩＱｉ （１ＺｈｅｊｉａｎｇＳｃｉＴｅｃｈＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ，Ｚｈｅｊｉａｎｇ３１００１８，Ｃｈｉｎａ； ２ＮａｔｉｏｎａｌＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００２９，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｓｏｌｖｅｔｈｅｄｅｆｉｃｉｅｎｃｙｉｎｐｒｅｃｉｓｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆｍｉｃｒｏｎａｎｏｇｅｏｍｅｔｒｙｓｔｒｕｃｔｕｒｅｄｉｍｅｎｓｉｏｎｕｎｄｅｒ １００ｎｍｏｆｓｃａｎｎｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｎｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ（ＳＥＭ）ａｎｄｒｅａｌｉｚｅｔｈｅｑｕａｎｔｉｔｙｔｒａｎｓｆｅｒａｎｄｔｒａｃｅａｂｉｌｉｔｙｏｆｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｖａｌｕｅｓ，ｔｈｅ ｃｏｎｔｒｏｌａｎｄｍｅａｓｕｒｉｎｇｓｙｓｔｅｍｏｆｍｅｔｒｏｌｏｇｉｃａｌＳＥＭｉｓｄｅｖｅｌｏｐｅｄＴｈｅｓｙｓｔｅｍｃｏｎｓｉｓｔｓｏｆｔｈｅｍｏｔｉｏｎｃｏｎｔｒｏｌｍｏｄｕｌｅｏｆ ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇｓｔａｇｅ，ｔｈｅｄｉｓｐｌａｃｅｍｅｎｔｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｍｏｄｕｌｅｂａｓｅｄｏｎｌａｓｅｒｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｍｅｔｈｏｄａｎｄｔｈｅｉｍａｇｅａｃｑｕｉｓｉｔｉｏｎａｎｄ ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｍｏｄｕｌｅＴｈｅｃｏｎｔｒｏｌａｎｄｍｅａｓｕｒｉｎｇｓｙｓｔｅｍｓｏｆｔｗａｒｅｉｓｄｅｖｅｌｏｐｅｄｂａｓｅｄｏｎＬａｂＶＩＥＷ ｇｒａｐｈｉｃａｌｐｒｏｇｒａｍｍｉｎｇ ｌａｎｇｕａｇｅＦｉｎａｌｌｙｔｈｅｍｅａ