4. 真空测量.pptxVIP

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4. 真空测量

4. 真空测量;4.1 概述; 表1? 一些真空计的压力测量范围;4.2 绝对真空计;U型真空计;产品实例;工作原理:  该真空计是一种液体压力计,它的基本原理是利用流体静力平衡原理,利用液体高度并有直接进行压力测量的仪表。真空计玻璃管二端必须平衡,玻璃管内径均匀一致,一边玻璃管顶端封闭,并始终保持一定的真空度。管内装有工作介质---高纯度水银,真空计的铜接头及被测设备相连接,设备内的压力由真空泵排气后,看真空计玻璃管内的水银柱端面高度差对照刻度板,直接读出绝对压力(*两端读数相加之和即为真空度)。    安装使用说明:  将真空计垂直安装在设备上,用户可购¢6.5mm紫铜管与真空计上端的紫铜管焊接,另一端与真空阀门焊接,焊接时请注意以下事项: 1、温度不要过高,以防止铜接头变形,影响密封性能。 2、铜管必须清洗,有条件可用乙醚,不能用油类清洗。 3、焊接质量保证,必须焊二层,绝对不能漏气。 4、“O”型圈拆卸要小心,安装时注意平均。 抽真空时必须关紧真空阀门,等真空泵运转后才慢慢打开真空阀门,以防一下子抽气,把真空中的水银抽出不能使用,停机时同样先关真空阀门,以防大气压强烈进入真空计玻璃管内而击碎玻璃管。 真空计玻璃管后面装有铝质刻度板,刻度板中间有二个调整“0”位的螺丝钉出厂时已调整好,用户不必再调整。玻璃管内的介质---水银容易流出,装拆时将真空计垂直携手拆装,如发现“0”型圈拉毛缺损,应及时更换新的“0”型圈。;产品价位;4.2 相对真空计;4.2.1热传导真空计;Λ:气体平均自由程;T:热丝温度 图7 热传导量Q及压力P的关系;热传导真空计规管热丝的温度T1是压力p的函数(见图7),即T1 = f(p)。如果预先测出这个函数关系,便可根据热丝的温度T1来确定压力p。 热丝温度的测量方法,有以下三种; ????(1)利用热丝随温度变化的线膨胀性质;--膨胀式真空计 ????(2)利用热电偶直接测量热丝的温度变化;--热偶真空计 ????(3)利用热丝电阻随温度变化的性质; --电阻真空计 在电阻真空计中也有用热敏电阻代替金属热丝的,此种真空计称热敏电阻真空计。其灵敏度较高,但稳定性较差。 热偶真空计和电阻真空计是目前粗真空和低真空测量中用得最多的两种真空计。 热传导真空计是相对真空计,常常在标准环境下,用绝对真空计或用校准系统进行校准。 ;1.电阻真空计;产品图例;;2. 热偶真空计; 通过校准可以作出P~ ? 的关系曲线,如图 4-7所示。 热偶计加热电流 加热电流的大小对读数影响很大,所以在使用 一段时间后,表面适应系数变化,要进行校准,保证使用中的加热电流处于规管所需要的额定值。 确定加热电流的方法: 新管:厂家提供,密封的规管直接测量 旧管:在真空系统上,抽气至p10-1 Pa后,调 加热电流,使电表偏转到最大值,此时的加热电流 值,即为额定的加热电流值。 ;测量范围: 100~10-1 Pa 气体种类的影响:∵不同气体分子的导热系数不同,热传导真空计对不同气体的测量结果不同。因此,在测量不同气体的压力时,则要修正: ? ? preal = Srpread 式中? ? pread——干燥空气(或氮气)刻度的压力计读数(干燥空气或氮气的压力),Pa; ? ? ? ? preal——被测气体的实际压力,Pa; ? ? ? ? Sr——被测气体对空气的相对灵敏度。 ? ? 通常干燥空气(或氮气)的相对灵敏度为1,其它一些常用的气体和蒸气的相对灵敏度如表1所示。 表1 热传导规对一些气体及蒸汽的相对灵敏度 气体或蒸气 S 气体或蒸气 S 空气 1 一氧化碳 0.97 氢 0.67 二氧化碳 0.94 氮 1.12 二氧化硫 0.77 氖 1.31 甲烷 0.61 氩 1.56 乙炔 0.60 氪 2.30 乙烯 0.86;;成都仪器厂 ;4.2.2 电离真空计; ?热阴极电离真空计规管的基本结构主要包括三个电极: 栅极G:双螺旋,+(150~200)V电压,

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