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长春理工大学超快光学实验室简介 长春理工大学超快光学实验室依托于长春理工大学理学院及长春理工大学国际纳米光子学研究中 心，于2009年组建成立，2011年被评为吉林省高强度飞秒激光与物质相互作用优秀团队称号。现有教 授2名，副教授1名，讲师1名；博士研究生9名，其中3名为外国留学生；硕士研究生20余名。 美 器 套 及OPO设备一套。此外还有美国PI公司可 CCD的极 见一红外全波段光谱仪，配合X—ray 紫外平像场光谱仪，可见波段CCD及ICCD， 激光与物质相互作用真空靶室等一系列实验 设备，实验装置如图1所示。 图1实验室设备一览 A of Fig．1 glimpselaboratory 目前，极紫外光刻用LPP光源是本实验室 的一个重要研究方向，同时还开展了其它相关 _量 的研究工作。例如：飞秒激光金属表面着色及 飞秒激光诱导形成材料表面微纳功能结构的 套 碰 研究。该项研究是通过在硅或金属表面制备 出具有一定规律的微纳结构，使材料表面的光 学特性发生根本性的改变。目前已经在Ni、 图2金属Ni表面的不同微纳结构呈现出不同颜色 Mo和Al等金属表面，通过控制激光参数成功 showthatNi withvarious Fig．2Photographs samples 制备出了不同周期的微纳结构，使金属样品呈 colorsformedfemtosecondlaser irradiation by pulse 现出不同的颜色，如图2所示；同时利用该技 术在半导体硅表面形成了对可见 到红外(0．2—20斗m)宽波段几 乎全部吸收的新型黑硅材料，如 图3所示。 最近实验室又成功地利用飞 秒激光等离子体丝在球形铝表面 ＼． 制备出对宽波段范围光有强吸收 鬻 的微纳结构，如图4所示。这项 图3(a)黑硅照片和SEM图像 工作将利用飞秒激光在材料表面 andSEM ofblacksilicon Fig．3(a)Photographimages sample 制备出功能性微纳结构的工作从 传统的平面结构拓展到任意形状表面，克服了以往在非平面上制备微纳结构时所必须的复杂光电控制 系统‘1I。 图3 (b)黑硅和硅片吸收率与波长关系 图4 (a)飞秒激光等离子体丝在球状铝表面形成微纳 ofblack absorbance Fig．3(b)wavelength—dependent 结构前后 siliconand silicon (a)TheoftheA1 surfacebefore regular Fig．4 photos spherical