第4章 电子显微分析.ppt

第4章电子显微分析 理学院郭敏杰 第4章电子显微分析 4.1 电子光学基础 4.2透射电镜(TEM) 4.3 扫描电镜SEM 4.4 扫描隧道STM和原子力电子显微镜AFM 4.1 电子光学基础 电子光学是研究带电粒子（电子、离子）在电场和磁场中运动，特别是在电场和磁场中偏转、聚焦和成像规律的一门科学。 它与几何光学有很多相似之处： 1）几何光学是利用透镜使光线聚焦成像，而电子光学则利用电、磁场使电子束聚焦成像，电、磁场起透镜的作用。 2）几何光学中，利用旋转对称面作为折射面，而电子光学系统中，是利用旋转对称的电、磁场产生的等位面作为折射面。因此涉及的电子光学主要是研究电子在旋转对称电、磁场中的运动规律。 3）电子光学可仿照几何光学把电子运动轨迹看成射线，并由此引入一系列的集合光学参数来表征电子透镜对于电子射线的聚焦成像作用。 2.电子的波长 3.电子透镜 透射电子显微镜 菲利浦公司生产的TECNAI-20 4.2.4 样品制备 TEM样品可分为间接样品和直接样品。 要求： （1）供TEM分析的样品必须对电子束是透明的，通常样品观察区域的厚度以控制在约100-200nm为宜。 （2）所制样品须具有代表性以真实反映所分析材料的某些特征。因此，样品制备时不可影响这些特征，如已产生影响则须知影响的方式和程度。 粉末样品制备 制备关键是如何将超细粉