力敏传感器及其应用.ppt

力敏传感器及其应用 一、力敏传感器概述 二、电阻应变式传感器 1．电阻应变式传感器工作原理 三、电感式传感器 课题二 压电传感器的转换原理 任务目标 ★ 掌握压电式力敏传感器的工作原理； ★ 掌握电容应变式力敏传感器的工作原理； ★ 了解压电应变式和电感应变式力敏传感器之间的区别。 一、压电传感器 2．几种常见的压电传感器 （1）压电式单向测力传感器 压电式单向测力传感器结构如图2-20所示，主要由石英晶片、绝缘套、电极、上盖及基座等组成。传感器上盖为传力元件，其外缘壁厚为0.1~0.5mm，当受外力F作用时，它将产生弹性变形，将力传递到石英晶片上。石英晶片采用xy型，利用其纵向压电效应。 二、电容式传感器 （a）材料受压 （b）材料受拉 （c）材料受压 （d）材料受拉 图2-14 压电效应 （2）压电传感器材料及特性 常用压电传感器的材料一般有压电单晶、压电陶瓷和有机压电薄膜。 ① 石英单晶分人工石英和天然石英。它们是单晶中使用频率最高的一种传感器。其特点是介电和压电常数的温度稳定性好，如图2-15所示。适用的工作温度范围宽，动态响应快，机械强度大，弹性系数高，稳定性好。 （a）压电常数与温度的关系 （b）介电常数与温度的关系 石英晶体的外形是规则的六角棱柱体，它有三个晶轴，如下图所示。 石英晶体的坐标轴和切片 纵向压电效应：沿着X轴对晶片施加力时，在垂直于X轴的表面上产生电荷。 横向压电效应：沿着Y轴对晶片施加力时，在垂直于X轴的表面上产生电荷。 ② 压电陶瓷是多晶体。最常见的有钛酸钡、锆钛铅系列等。压电陶瓷属于铁电体一类的物质，是人工制造的多晶压电材料，它具有类似铁磁材料磁畴结构的电畴结构。电畴是分子自发形成的区域，它有一定的极化方向，从而存在一定的电场。在无外电场作用时，各个电畴在晶体上杂乱分布，它们的极化效应被相互抵消，因此原始的压电陶瓷内极化强度为零，经过人工极化后，保留很强的剩余极化的情况下才能作为压电材料使用 。 ③ 有机压电薄膜随着科技的进步发展也较快。它既具有高分子材料的柔软性又具有压电陶瓷的特性，可以做成较大面积，主要用于微压测量和机器人的触觉。 （ａ）天然石英晶体 （b）石英晶体薄片 （c）压电陶瓷 （d）高分子压电薄膜 各种压电材料的外形图 （3）压电传感器的结构 压电传感器是一种有源传感器，同时又是一个电容器，其结构如图2-17（a）所示。它是在压电晶片的两个工作面上进行金属蒸镀，形成金属膜，引出两个电极。实际应用中常将两个以上晶片进行串联或并联。如图2-17（b）、（c）所示，就如同将两个电容器串联和并联一样。串联输出的电压高，自身电容小；并联输出电荷量大，电容量大。串联主要用在以电压为输出量及测量电路输入阻抗很高的场合，而并联由于时间常数大，主要用于以电荷为输出量的场合，适于测量缓变信号。 （a）压电晶片 （b）串联 （c）并联 图2-17 压电晶片及压电传感器结构 （4）压电传感器基本应用电路 根据后续放大电路是电压放大还是电荷放大，可将压电传感器等效为电压源电路和电荷源电路，如图2-18所示，Ca为等效电容。 （a）电荷源等效电路 （b）电压源等效电路 图2-18 压电传感器等效电路 由于压电传感器产生的电量非常小，且内阻极高，就要求测量电路的输入电阻尽量大，这样才能减小测量误差，因此在压电式传感器的输出端总是接入高输入阻抗的前置放大器，然后再接入一般的放大电路。 前置放大器有两个作用：第一是将压电传感器的输出信号放大；第二是将高阻抗输出变换为低阻抗输出。压电式传感器的测量电路有电荷型与电压型两种，相应的前置放大器也有电荷型与电压型两种型式。 下面简单介绍电荷型放大电路，如图2-19所示。 （a）等效电路 （b）简化电路 图2-19 压电式传感器电荷放大的电路 图2-19（a）中Ra为压电传感器的绝缘电阻，Cc为连接电缆的传输电容，Ri为前置放大器的输入电阻，Ci为前置放大器输入电容；图（b）中为等效综合电容， =Ci+Ca+Cc， 即为等效综合电阻，两图中Rf 、Cf为反馈电阻和电容，分析计算可得输出电压 （2-10） 可见输出电压值主要决定于和Cf，因此要得到必要的测量精度，反馈电容Cf的温度和时间