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张振兴 等 溶胶 凝胶法制备 共掺 薄膜的结构及光学特性
- K-N ZnO 3301
文章编号: ( )
1001-9731201322-3301-04
溶胶 凝胶法制备 共掺 薄膜的结构及光学特性∗
- K-N ZnO
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张振兴 张海军 廖梦舟 周 华 谢二庆 潘孝军
( , )
兰州大学 物理科学与技术学院 甘肃 兰州 730000
[ ]
: ( ) 18 。 , ,
摘 要 采用溶胶 凝胶法在 衬底上生长了 法 等 较之前面的方法 溶胶 凝胶法工艺简单 易
- Si100 -
, 、 。
与 共掺的 薄膜 并用 射线衍射仪 扫描电 于实现分子级掺杂和大面积低成本制备薄膜 本文采
K N ZnO X
、 、
子显微镜 荧光分光光度计 紫外 可见分光光度计对 用溶胶 凝胶法在 衬底上制备 共掺杂 薄
- - Si K-N ZnO
。 , 、 、
薄膜样品的结构和光学特性进行了研究 结果 膜 并利用 射线衍射仪 扫描电子显微镜 荧光分光
ZnO X
, 、
表明 溶胶 凝胶法制备的 薄膜为六方纤锌矿结 光度计 紫外 可见分光光度计等测试手段对所制薄膜
- ZnO -
。 , , ,
构 随着 掺杂浓度的增大 薄膜的结晶性变好 组 进行表征和分析 研究共掺杂对 薄膜结构和光学
K ZnO
, , 。
成薄膜的颗粒变大 并表现出 轴择优生长特性 同时 性质的影响
c
, ,
掺杂导致的氧空位缺陷也在增加 使得绿光发射增强
实 验
2
薄膜的光学带隙先增后减。
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