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铌酸锂表面波器件基底最佳切割方向-北京工业大学学报
37 8 Vol． 37 No． 8
第 卷 第 期 北 京 工 业 大 学 学 报
2011 8 JOURNAL OF BEIJING UNIVERSITY OF TECHNOLOGY Aug． 2011
年 月
铌酸锂表面波器件基底最佳切割方向
， ，
俞宽新 刘 韬 王 勇
( ， 100124)
北京工业大学应用数理学院 北京
: ，
摘 要 为在表面波器件设计时选择基底的最佳切割方向 推导表面波压电增劲晶体声学基本方程和表面波边
， ， yz
界条件方程 使用循环迭代法 对铌酸锂晶体最佳退耦的声弧矢 平面计算了沿不同方向的电自由条件表面波
． ，
声速与电短路条件表面波声速 在此基础上计算了机电耦合系数 并确定最大机电耦合系数的方向为基底的最
． ， 164 °y ．
佳切割方向 计算结果表明 铌酸锂晶体作为表面波器件基底的最佳切割方向为 切
: ; ; ;
关键词 表面波 铌酸锂晶体 压电效应 机电耦合系数
中图分类号:O 422. 1 文献标志码:A 文章编号:0254 － 0037 (2011)08 － 1221 － 05
， ， ，
表面波器件的基底必须使用压电晶体 在此基底晶片上镀叉指换能器 在电信号的驱动下 它可以产
［1］
． ，
生出表面声波 铌酸锂晶体具有优良的压电性能 常用来制作体声波器件的换能器 和表面波器件的基
， 、 、 、 、 ［2］． 2 :
底 如延迟线 滤波器 振荡器 卷积器 声光器件等 确定基底晶片的最佳切割方向有 个原则 一是表
， ．
面波基底的声弧矢面 即由声波矢传播方向与晶片法线方向所组成的平面必须是退耦的 退耦面内的表
， ， ．
面波是平面偏振或线偏振 不需要分解声振幅 有利于提高声能量的利用率 晶体的对称镜面或法线方向
2 ． 3 m ， yz ，
为 度轴的平面是退耦平面 铌酸锂晶体属于 晶类 其 平面是对称镜面 故该平面是铌酸锂表面波
． ， ．
的退耦平面 二是表面波传播方向的机电耦合系数最大 以保证电声能量转换效率最大 机电耦合系数
［3-5］
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