Niak工艺校准及装机注意事项.pptx

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2017-10-24 发布于湖北
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Niak工艺校准及装机注意事项.pptx

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Niak工艺校准及装机注意事项

3.5.2011;主要内容;A.Niak上酸前注意事项;检查滚轮水平（刻蚀的刻蚀槽水平尤其重要）;;Niak刻蚀的刻蚀槽的相关参数设定（初次配液体积的设定）;第一次给机台加液时确保各管路中的化学品正确；;Niak 校准方法：;Step1---排空上槽及下槽药液;Step2---将机台切换至安全模式即service模式;Step3---选择一化学槽的某种化学品点击‘Prepare get ref. volume’ 按钮;Step4---拆开补液阀的管路并连接另一根管路，用其他容器接住;Step5---点击‘Get ref. volume’ button and measure the ref. volume;Step6---称量容器中所接水的重量反复做3次，将最后所得平均值写入配方;Step7---校正玩将机台切换至手动模式;Step8---继续做化学品校准，点击 ‘Start calibration’ 按钮;B.Niak第一次配液后注意事项；;Niak 刻蚀槽各化学品补液量;2.试跑假片，检查wafer在各槽体运行状况;;C.Niak培训;1.各槽体作用;basin;2.软件和操作介绍;3.配方修改;;;Thanks