光干涉方法在角度偏差测量中的应用.pdfVIP

第37卷第4期 红外与激光工程 ， 2008年8月 V01．37No．4 InfraredandLaser Aug．2008 Engineering 光干涉方法在角度偏差测量中的应用 陈磊，王青，何勇 (南京理工大学电光学院，江苏南京210094) 摘 要：介绍了应用光学干涉原理测量棱镜光学平行差的方法。棱镜可等效展开为玻璃平板，其入 射面与出射面的光程差恒定，通过波长调谐方法，改变等效玻璃平板之间的位相差，从而用移相干涉术 测量了光学棱镜的光学平行差。介绍了一种立方体玻璃900偏差测量的新方法，斐索干涉仪的测试光束 以450入射到立方体玻璃内，入射波面经立方体900二面角自准直反射，与干涉仪参考波面相干形成干涉 图。分析了干涉波面与立方体玻璃二面角误差之间的关系，并通过移相式干涉仪给出了实测结果。 关键词：角度偏差测量； 移相干涉术； 立方体棱镜 中图分类号：TH744．3文献标识码：A 文章编号：1007—2276(2008)04-0735-04 of on deviation interferometryangle Application CHEN Lei，WANGQing，HEYong Scienceand (SchoolofPhotoelectric of Technology，Nanjing210094，China) Technology，NanjingUniversity Abstract：Theinterferometrictomeasure errorof wasintroduced．Most technique angle prism canbeunfoldedtoall ifthe errorexists．Theinterference prisms equivalentwedgeplate prism fringes facesofthe the thefrontandtherear difference(OPD)between wedgeplates．As representopticalpath theOPDbetweentheinterferencewavefrontsis isdifficulttointroduceshiftinthe definite，it phase laserwasusedasthe sourceto the interferograms．Thewavelengthtuning light linearlychangephase in the