共光路双频外差干涉法测量模拟磁头磁盘静态间隙.pdfVIP

第32卷第12期 中 国 激 光 V01．32，No．12 2005年12月 CHINESE OFLASERS December，’2005 JOURNAL 文章编号：0258—7025(2005)121664一04 共光路双频外差干涉法测量 模拟磁头磁盘静态问隙 岳兆阳1’2，张 蕊2，白少先1，孟永钢1，殷纯永2 (清华大学1摩擦学国家重点实验室，2精密仪器与机械学系，北京100084) 摘要提出了一种共光路外差干涉测量模拟磁头磁盘静态间隙的方法，该方法以低频差横向塞曼双频激光器作为 光源，采用专门设计的双折射透镜分光和相位测量技术，实现了对光波半波长的3600细分，从而使测量分辨率达 到o．1 h内稳定测量实验结果漂移小于4nm；利 nm。原理实验结果表明，该系统在无恒温的普通实验室条件下，1 用压电陶瓷(PzT)微动工作台(步进分辨率lnm)驱动反射镜(模拟磁头)产生位移，在1“m范围内与该系统测量 结果进行比对，得到线性相关系数优于o．9998。 关键词 测量；外差干涉；共光路；相位测量；磁头磁盘；静态间隙 744．3 中图分类号TH 文献标识码A MeasurementofSimulated Disk／SliderStationarySpacingby Common—Path Dual-FrequencyInterferometry YUE Rui2，BAI Shao—xianl，MENG Zhao—yan91”，ZHANG Yong—gan91，YINChun—yon92 (1S￡口￡PKPyL口60，‘n￡oryo，了、ri60Zogy，2D已p口r￡，咒P￡o，PrPfi5io珂，卵5zr“mP行fs， 100084。(Mi行口) 了、i押g矗“口L7ni傀，百ifv，BPiii珂g Abstl。actAnovelmethodfor thesimulateddisk／slider is inthis measuring stationaryspacingproposed paper， on utilisesa Zeemanlaserwithlowbeat and basedcommon—pathheterodyneinterferometrythat transverse frequency a lens(asbeam The measurementis todividehalf specialdesignedbirefringent splitter)．phase technologyadopted a resultsshow of afactorof3600，henceresolutionofO．1nmcanbeattained．The wavelengthlightby