基于图像变换的自由曲面光学透镜面形测量.pdfVIP

清华大学学报 自然科学版 年第 卷第 期 !# $%%%%%’( - .*%%* (* $%,+C )# $$***+,# - .= *%%*= B(*= B D(DD(E=D’D /012345678329 :2;0:5 ?@A #@ 基于图像变换的自由曲面光学透镜面形测量 郭震宇= 冯之敬= 赵广木 清华大学精密仪器与机械学系 北京 - = $%%%C(. 摘 要 对称中心的自由曲面光学透镜的光学表面面形测 有效的测量方法9$=*: 三坐标测量机的测量精度均为 F K 量 是光学加工制造领域的难题 为达到高精度测量 提出一 9+: ! ! 以上 这样的测量精度难以满足在加工 *4 + = 5M 种可用于自由曲面光学透镜在线光学测量方法 基于光学透 高精度自由曲面光学透镜过程中反馈测量控制参数 镜的图像变换特性与其光学表面面形之间存在着的拓扑关 的需要9(: 另外 接触测量方式可能损坏待测透镜光 K = 系 通过对标准输入图像和经过待测自由曲面光学透镜变换 ! 学表面K 后的输出图像进行智能辨识 分析和处理 求出该光学透镜 # ! 光学成像系统是一种将输入图像变换成输出图 的变换矩阵 并据此精确测量出待测光学透镜的曲面面形 ! 像的图像变换系统 输出图像与输入图像之间的差 实验结果表明 基于图像变换的测量方法的测量误差小于 K $ % 异能够反映该光学成像系统的图像变换特性 光学 能够适用于自由曲面光学透镜的非接触 快速高精 K ’ ! # () 度测量 成像系统的图像变换特性与该成像系统中成像透镜 关键词 自由曲面透镜 面形测量 图像变换 光学测量 的光学表面面形之间存在着某种拓扑关系K F * * * 本文结合矩阵光学算法 建立了输出和输入图 中图分类号F *( 文献标识码F = 0# J