《21世纪的激光技术二》创造奇迹的光.pdfVIP

海纳百川 藏书博览 简装书库 自然科学总论 自然科学普及读物 创造奇迹的光 21 世纪的激光技术 02 雷仁湛 上海市黄浦区教育信息中心 超级工具 在现代工业生产中，特别是光电子工业生产要求加工的零件尺寸微 小，精密程度非常高。因此要求有精细的加工工具和精细加工技术。激 光可以做成 “超级工具”，进行各种精密加工。比如，用它可以在各种 坚硬和柔软的材料上打微米量级的小孔，刻划宽度为微米量级的线条； 用激光可以检查出元件上微米量级的缺陷。激光也可以做成精密的尺 子，对长度作精细量度；可以做成精确的准直线，让我们快速、准确安 装设备。激光还可以让我们精确检查大气污染物质和它们的分布，可以 预报地震。 激光精密加工 我们日常用的袖珍计算机、录像机、电传机；各种自动化控制生产 设备、各类航天航空仪器仪表；科学研究用的各种仪器，它们的尺寸不 断在缩小，微型化是产品今后的发展方向。制造的家用电器和仪器设备 小型化，装配它们用的元件就更要小型化。不言而喻，需要能作精密加 工的工具和能作精密计量检测的工具。用激光可以做成能进行各类加工 的工具和测量工具，而且能够达到很高的精密程度。 打微小直径深孔 在元件上开个小孔是件很常见的事。但是，如果要求在坚硬的材料 上，比如在硬质合金上打大量 0.1毫米到几微米直径的小孔，用普通的 机械加工工具怕是不容易办到，即使能够做，加工成本也会很高。现有 的机械加工技术在材料上打微型小孔是采用每分钟数万转或者几十万转 的高速旋转小钻头加工的，用这个办法一般也只能加工孔径大于0.25毫 米的小孔。在今天的工业生产中往往是要求加工直径比这还小的孔。比 如在电子工业生产中，多层印刷电路板的生产，就要求在板上钻成千上 万个直径约为 0.1～0.3毫米的小孔。显然，采用刚才说的钻头来加工， 遇到的困难就比较大，加工质量不容易保证，加工成本不低。早在本世 纪60年代后，科学家在实验室就用激光在钢质刀片上打出微小孔，经过 近 30年的改进和发展，如今用激光在材料上打微小直径的小孔已无困 难，而且加工质量好。打出的小孔孔壁规整，没有什么毛刺。打孔速度 又很快，大约千分之一秒的时间就可以打出一个孔。 激光在材料上钻出小孔的道理很简单，做法也不复杂。激光有很好 的相干性，用光学系统可以把它聚焦成直径很微小的光点（小于1微米）， 这相当于用来钻孔的 “微型钻头”。其次，激光的亮度很高，在聚焦的 焦点上的激光能量密度 （平均每平方厘米面积上的能量）会很高，普通 9 2 一台激光器输出的激光，产生的能量就可以高达10焦耳／厘米 ，足可 以让材料发生熔化并汽化，在材料上留下一个小孔，和用钻头钻出来的 一个样。 怎样用好激光 “钻头”，激光科学工作者也做了许多研究工作。他 们发现，用每秒发射许多个光脉冲 （通常叫高重复率激光脉冲）做“钻 头”，打出来的小孔质量比用单个光脉冲，或每秒时间内少数几个光脉 冲打出来的孔好。道理大概是这样：在用每秒一个光脉冲或少数几个脉 冲打孔时，对每个光脉冲的激光能量要求比较高，让材料能被加热至熔 化才能打出孔。但是，融熔了的材料没有办法充分汽化，却把在它附近 的材料加热和使它们汽化，结果，被打出来的小孔在形状大小上就不那 么规整。如果使用的是高重复率激光器输出的光脉冲，这时每个光脉冲 平均的能量并不很高，但由于光脉冲的宽度窄，功率水平却不低。于是 每个激光脉冲在材料上形成的融熔体不多，主要是发生汽化。由于使小 孔附近的材料加热时融熔体很少，因而也就不出现在用单脉冲打孔时出 现的事。打出的小孔形状和大小就规整得多了。 要使打出的小孔质量高，还需要注意激光焦点位置的选择。选择焦 点位置的原则大致是这样：对于比较厚的材料，激光束焦点位置应位于 工件的内部 〔见图28（a）〕，如果材料比较薄，激光束焦点需放在工件 表面的上方[见图28（b）］。这样的安排会让打出来的小孔上下大小基 本上一致，不出现 “桶状”的小