低温介质阻挡放电线状等离子体射流.PDF

第 32 卷 第 3 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 Vol.32, No.3 2 0 1 2 年 9 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics Sep. 2012 文章编号：0254−6086(2012)03−0283−06 低温介质阻挡放电线状等离子体射流 史丹丹，黄晓江，钟方川 (东华大学理学院，上海 201620) 摘 要：设计建立了同轴圆柱介质阻挡放电线状射流装置，并利用其实现了宽度为 50mm 的大尺度线状射流， 并对射流长度随放电参数的变化进行了研究。研究发现，随气压、流量的增加，射流长度呈先增加后达到饱和；随 激励电压的增加，射流长度增加。对氮气射流等离子体进行发射光谱诊断，表明氮气等离子体中主要是氮分子和少 量氮原子，并利用光谱拟合得出射流的温度范围为 290~350K 。 关键字：线状射流；介质阻挡放电；光谱诊断 中图分类号：O539 文献标志码：A 1 引言 本论文设计建立圆柱同轴介质阻挡放电(DBD) 常压低温等离子体由于不需要真空系统、设备 线状等离子体射流装置，采用氮气成功地获得了线 简单、成本低，在材料合成、臭氧制造、材料表面 状等离子体射流。选用氮气为放电气体对放电特性 改性、薄膜沉积、灭菌消毒、电路板干法清洗等领 和射流长度的影响因素进行了测量分析，并利用发 域具有十分广阔的应用前景。其中，常压低温等离 射光谱法对其进行诊断分析。 子体射流可实现放电区域与射流区域的分离，克服 平板放电下较小的间距、不易处理表面不规则材料 2 实验装置 的缺点，材料可在无约束的外界气体环境中进行等 线状射流装置如图 1所示，整个装置由同轴的 离子体处理，一则使材料表面免受高温带来的损 圆 柱 介 质 阻 挡 放 电 腔 构 成 。 其 中 外 电 极 为 长 伤，另一方面又避免了处理的材料对等离子体放电 220mm、直径长39.8mm的不锈钢管，在其中心开长 的影响[1] 。同时等离子体射流具有移动方便，使用 度为50mm、宽度为0.7~0.8mm的狭缝作为线状射流 灵活的特点，因此具有广泛的使用领域，从而受到 的喷口。内电极由石英管和水电极构成，石英管作 了广泛的重视和研究。 为阻挡介质，它与外不锈钢电极间的间隙为放电产 目前常用的等离子体射流，主要都是采用圆柱 生等离子体区域，采用的间隙为 1mm。以水作为电 [2~5] 极一方面是保证电极与石英介质的紧密均匀接触， 放电腔，腔的一端进气，一端喷出点状射流 。 对于需要大面积处理的物体，点状射流处理效率 另一方面是对放电过程中产生的热量进行冷却。在 低。虽然有文献报道[6, 7]利用多个点状射流并联形 不锈钢与狭缝相反的方向上，开对称的进气口。用 成线状射流源，但其等离子体的均匀性难于保证。 两个进气口是为了保障放电腔内气体均匀性。 因此有必要发展线状等离子体射流源，以提高射流 放电电源采用由南京苏曼电子有限公司生产 等离子体的处理效率，扩大其应用范围。 的CTP-2000K高压电源，其输出最大电压为 15kV、 频率为 10kHz。放电过程中加在放电腔上的电压由 收稿日