共焦法在不同环境对定焦间距精度的影响-科学技术与工程.pdfVIP

第 卷第 期 年 月 科 学 技 术 与 工 程 共焦法在不同环境对定焦间距精度的影响 原泉任 寰杨一张霖石振东马骅 中国工程物理研究院激光聚变研究中心绵阳 摘要 大口径长焦距光学元件的测量一直没有好的解决办法现利用激光共焦组合焦距测量原理对光学元件进行测量 由于 焦点之间的间距值误差传递系数最高所以要对定焦间距进行准确定焦 对包括被测超长焦距的透镜和未包括超长焦距透镜的 激光共焦系统进行两次精确定焦通过测量两定焦焦点位置之间的距离来获得定焦间距并在不同的环境下反复测量以观察环 境对于测量精度的影响 通过测量结果可以知道利用有机玻璃框隔离时测量精度更高标准差可以达到 关键词超长焦距测量定焦间距精度 激光共焦组合焦距环境条件 中图法分类号 文献标志码 在现代光学系统的特性测试中透镜的焦距是一 来改善共焦测量系统 量系统轴向响应相移这一特性 个必须准确测量出的量 大口径的透镜由于有较高 附近的轴向分辨能力 继而实现共焦测量系统的高精 的分辨率在许多工程中都有重要的应用但由于较 度定焦 高的设备费用和测量难点对于透镜的长焦距测量一 当差动共焦超长焦距测量系统中放入时 直没能有很好的解决办法 参考透镜与被测透镜构成如图 的组合透镜系统 现在能够解决长焦距的测量问题的方法目前来 说有焦度计法 基于 效应的莫尔条纹法 哈特曼 夏克传感器 等方法 本文使用共焦定焦法 来对大口径长焦距的透镜进行检测 该激光共焦 组合焦距测量原理基于共焦精密定焦技术对包括被 测超长焦距透镜和未包括被测超长焦距透镜的激光 差动共焦系统进行两次精确定焦通过测量两定焦焦 点位置之间的距离 继而间接测得被测物镜的焦距 实现透镜超长焦距的精确测量 利用激光差动公焦 图组合透镜光路示意图 组合法测得透镜顶焦距然后通过预先已知的透镜曲 率半径折射率和透镜厚度等参数间接计算得到被 令透镜的焦距透镜的焦距 测透的焦距该方法可大幅缩短被测距离减小仪器 与两透镜主点间距为 两次定焦间距为 体积 则有 由公式计算可以知道想要得到精确的焦距值需 要经过测量得到参考透镜焦距参考镜与被测 镜顶点的间距和焦点之间的间距值且由计算知