第6章压力和流量测量.ppt

传感器的被测压力可达25MPa。 由于传感器的固有频率在25000Hz以上，故有较好的动态性能，适用于快速变化的压力测量。 传感器的非线性及滞后误差小于额定压力的1％。 3 压阻式压力传感器 压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应而构成，其工作原理如图3-12所示。 原理：采用单晶硅片为弹性元件，在单晶硅膜片上利用集成电路的工艺，在单晶硅的特定方向扩散一组等值电阻，并将电阻接成桥路，单晶硅片置于传感 器腔内。当压力发生变化时，单晶硅产生应变，使直接扩散在上面的应变电阻产生与被测压力成比例的变化，再由桥式电路获得相应的电压输出信号。 特点：压阻式压力传感器具有精度高、工作可靠、频率响应高、迟滞小、尺寸小、重量轻、 结构简单等特点，可以适应恶劣的环境条件下工作，便于实现显示数字化。 使用范围：压阻式压力传感器不仅可以用来测量压力，稍加改变，就可以用来测量差压、高度、速度、加速度等参数。 膜片式压电压力传感器 　如图所示的膜片式压电压力传感器目前较常用。 图中， 膜片起密封、 预压和传递压力的作用。 由于膜片的质量很小， 而压电晶体的刚度很大， 所以传感器具有很高的固有频率(高达100 kHz以上)， 尤其适用于动态压力测量。 常用的压电元件是石英晶体。 为了提高灵敏度， 可采用多片压电元件层叠结构。 　　5） 压电式压力传感器 　　压电式压力传感器可以测量各种压力， 如车轮通过枕木时的强压力， 继电器接点压力和人体脉搏的微小压力等。用得最多的是在汽车上测量气压、 发动机内部燃烧压力和真空度。　 6.2 流量测量技术 一、 流量及其测量方法 　　1. 流量的概念 　　单位时间内流过管道内某一截面的流体数量， 称为瞬时流量。 而在某一段时间间隔内流过管道某一截面的流体量的总和， 即瞬时流量在某一段时间内的累积值， 称为总量或累积流量， 如用户的水表、 气表等。 工程上讲的流量常指瞬时流量，下面若无特别说明均指瞬时流量。 瞬时流量有体积流量和质量流量之分。 　　1） 体积流量qv  　　体积流量qv是指单位时间内通过某截面的流体的体积，单位为m3/s。根据定义，体积流量可表示为 式中, S为管道截面面积（m2）；v为管道内平均流速(m/s)； V为流体体积（m3）；t为时间(s)。 　　2） 质量流量qm  　　质量流量qm是指单位时间内通过某截面的流体的质量。根据定义，质量流量可表示为 式中, ρ为流体的密度(kg/m3); m为流体的质量（kg）。 　　2. 流量的测量方法 　　生产过程中各种流体的性质各不相同， 流体的工作状态（如介质的温度、 压力等）及流体的粘度、 腐蚀性、 导电性也不同， 很难用一种原理或方法测量不同流体的流量。 尤其工业生产过程的情况复杂， 某些场合的流体是高温、 高压， 有时是气液两相或液固两相的混合流体。 所以目前流量测量的方法很多， 测量原理和流量传感器（或称流量计）也各不相同， 从测量方法上一般可分为速度式、 容积式和质量式三大类。 　　1） 速度式流量测量原理  　　速度式流量传感器大多是通过测量流体在管路内已知截面流过的流速大小实现流量测量的。 它是利用管道中流量敏感元件（如孔板、 转子、 涡轮、 靶子、 非线性物体等）把流体的流速变换成压差、 位移、 转速、 冲力、 频率等对应的信号来间接测量流量的。 差压式、 转子、 涡轮、 电磁、 旋涡和超声波等流量传感器都属于此类。 　　2） 容积式流量测量原理  　　容积式流量传感器是根据已知容积的容室在单位时间内所排出流体的次数来测量流体的瞬时流量和总量的。 常用的容积式流量传感器有椭圆齿轮式、 旋转活塞式和刮板式等。  　　3） 质量式流量测量原理  　　质量式流量传感器有两种，一种是根据质量流量与体积流量的关系， 测出体积流量再乘以被测流体的密度的间接质量流量传感器， 如工程上常用的补偿式质量流量传感器， 它采取温度、 压力自动补偿； 二、 几种速度式流量传感器 　　1. 差压式流量传感器 　　1） 差压式流量传感器及其原理 　　差压式流量传感器又称节流式流量传感器， 主要由节流装置和差压传感器 (或差压变送器)组成。 另一种是直接式质量流量传感器， 如热电式、 惯性力式、 动量矩式质量流量传感器等。 直接法测量具有不受流体的压力、 温度、 粘度等变化影响的优点， 是一种正在发展中的质量流量传感器。 差压式流量传感器 如图所示。 它是利用管路内的节流装置， 将管道中流体的瞬时流量转换成节流装置前后的压力差， 然后用差压传感器将差压信号转换成电信号， 或直接用差压变送器把差压信号转换为与流量对应的标准电流信号或电压信号， 以供测量、 显示、 记录或控制。 在气动控制中