一种快速的调制度测量轮廓术.pdfVIP

第29卷第7期 光 学 学 报 V01．29。No．7 2009年7月 ACTA0PTICASINICA July，2009 文章编号：0253—2239(2009)07—1858—05 一种快速的调制度测量轮廓术 窦蕴甫 苏显渝 陈延非 (四川大学光电科学技术系，四川成都610064) 摘要调制度测量轮廓术是一种垂直测量的三维面形测量方法，可以测量表面有剧烈变化的复杂物体。提出了一 种基于正交方向空间载频的快速调制度测蜃轮廓术。该方法将两个具有一定间距且正交的正弦光栅同时成像在 被测物体上，并使被测物体位于两个光栅成像面之间。采用窄问频域滤波将正交光栅图像分离，得到被测物体经 正交光栅调制的两个调制度图像，利用其比值和高度的对应关系恢复出物体高度。该方法只需采集一幅图像，即 可恢复出物体高度，具有三维信息实时采集的特点。实验结果表明，利用该方法可以快速且较为准确地恢复出物 体的高度信息。 关键词 光学测量；动态测量；调制度测量轮廓术；傅里叶变换；正交光栅 中图分类号0438 文献标识码 A doi：10．3788／AO1858 AFastModulationMeasurement Profilometry DouYunfuSu ChenYanfei Xianyu 610064，China) (DepartmentofOpto-Electronics，SichuanUniversity，Chengdu。Sichuan AbstractModulationmeasurement isavertical3Dmeasurement canmeasurethe profilometry technique。which withacute intheirsurfaces．Afastmodulationmeasurement basedon complexobjects changes profilometry carrieris thismethod．twocross—sinusoidalatacertainintervalare orthogonalspatial proposed．In gratings imaged onthesurfaceofthe whichlaid them．We the of testingobject is betweentwo of can images imagingplanes separate domain themodulationdistributionoftwo orthogonalgratingsthroughspatialfrequencyfiltering，obtain images cross—sinusoidal thenrestorethe ofthe the oftheratioofmodulationsandthe gratings。and height objectthrough