一种测量光学表面粗糙度的全积分散射仪.pdfVIP

第36卷，增刊 红外与激光工程 2007年6月 、，01．36 In铴刚柚dLaser Jun．2007 Supplemem Engince渤g 一种测量光学表面粗糙度的全积分散射仪 张贵彦L2，袁宏韬12，缪同群1 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033； 2．中国科学院研究生院北京lo0049) 摘要：运用全积分散射理论，结合积分球的光度特性，研制了一种用于粗糙度测量的比较法全 积分散射仪。用原子力显微镜分析了用相同的抛光工艺制备的三片超光滑硅片的表面粗糙度，其结 nm均方 果均在0．14—0．19nm之间，说明了此抛光工艺的稳定性；用原子力显微镜测量值为O．143 根粗糙度的超光滑硅片作为参考样片，比较了其他三片相同工艺制备的硅表面的全积分散射测量结 果，结果显示与标准片的测量结果非常接近，均在0．14一O．18nm之间，验证了全积分散射法的合理 性；进一步分析了锗、铝、碳化硅等表面的全积分散射测量结果，结果呈现出明显的差异，说明该 方法具有较高的灵敏度和较大的动态范围。 关键词：全积分散射； 积分球； 均方根粗糙度； 超光滑 中圈分类号：TN247 文献标识码lA scatterometerfor in Tb切l the integrated application surface me嬲urement optical roughness Ztu蝌G Gui—y觚1_，YI，ANHong一伽l’-，M队OTong．qunl Ins劬te M∞h阻ics锄d (1．a啪gchunofoptics，Finc Pllysics，(瓤ne∞AcadcmyofSciences，Ch粕gch蛆130033，aIina； 2．Gfad岫_tcsch∞lof of C孙∞辩AcadeⅡIy 100049，ali舱) Scien∞s，B蜘ing Total Abst髓ct：Basedon andⅡle charac硎stidsofⅡle IIlte鲥edScattering(1rIS)tI俄)ryphotometric total scatterometer metllodfortlle in integratingsphere，aintegrated bycomparison applicationoptical surface measurementwasestablished．MeasurementresultsoftIlree siliconsurfaces rougllIless polished tlles锄e AFM