大口径多层介质膜光栅衍射效率量及其在制作工艺中的应用-物理学报
Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 17 (2012) 174203
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( , 230029 )
( 2011 12 21 ; 2012 2 21 )
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, ± 1%. ,
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/mm 95% . , ,
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PACS: 42.40.Lx, 42.79.Dj, 42.40.Eq
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