大口径多层介质膜光栅衍射效率量及其在制作工艺中的应用-物理学报.PDF

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大口径多层介质膜光栅衍射效率量及其在制作工艺中的应用-物理学报

Acta Phys. Sin. Vol. 61, No. 17 (2012) 174203 * † ( , 230029 ) ( 2011 12 21 ; 2012 2 21 ) . , , . , ± 1%. , , , , , . , 430 mm ×350 mm 1740 /mm 95% . , , . . : , , PACS: 42.40.Lx, 42.79.Dj, 42.40.Eq . 1 , ,

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