薄膜生长过程及微观结构的影响研究-无机材料学报.PDF

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 匕 , 年 月 一 一 文 章编号 一 衬底温度对 薄膜生长过程 及 微观 结构 的影 响研 究 边 继 明, 李 效 民, 高相 东, 于 伟 东 中 国科 学 院 土 海 硅 酸 盐 研 究 所 高性 能 陶 瓷 和 超 微 结 构 国 家重 点 实 验 室 , 上 海 摘 要 以醋酸锌水溶 液为前驱体 , 采用 改进 的超声 喷雾热解法在 衬底 上 沉积 薄膜 , 以 射线衍射 、 扫描 电镜 等手段分析所得 薄膜 的 晶体结构和 微观 形貌 , 着重考察 了衬底温度对 薄膜生 长过程及微观结构 的影 响 结果表 明, 在 衬底 温度 为 下所得 薄膜表面均匀光滑 , 属六方纤锌矿结构 , 且 沿 轴择优 生 长 , 晶粒尺 寸 , , 约 为 、 衬底温度对 薄膜生长过程影 响显著 随衬底 温度 的升高 薄膜生长速率 存在 一极 限值 , 且 薄膜 的 轴取 向趋势增强 , 晶粒尺寸得 到细化 关 键 词 氧化锌 薄膜 超声雾化热分解 中图分类号 文献标识码 引言 , 、 薄膜是 一 种具有 广 阔应 用前景 的氧化物半导体材料 它 不仅具有优 异 的压 电 光 、 和 压 , 、 , 环 污 , 明 、 、 电 光 敏 敏 等性质 而且 资源丰 富 价格低廉 对 境无 染 在透 电极 发光 元件 声表 面 波器 件 、 气敏传感 器 、 单色 场 发射 显 示 器 材 料 等方面 具有 广泛 的应 用 前 景 尤 其是 近 年来 , 光 泵 浦 紫外激光 的获得和 自形 成谐 振腔 的出现 , 进 一 步掀 起 了 的研 究热 一 潮 【 、 、 多种方法可 用 于制备 薄膜 , 如脉 冲激光 沉积法