极小孔径衍射波前测试分析.pdfVIP

第 22卷 第 1O期 光学 精密工程 VoI．22 No．10 2014年 1O月 OpticsandPrecisionEngineering 0ct．2O14 文章编号 1004—924X(2014)10—2639—06 极小孑L径衍射波前测试分析 邵 晶 ，马冬梅 ，张海涛 ，于 杰 ，周 烽 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春130033； 2．中国科学院大学，北京100049) 摘要 ：研制点衍射干涉仪时，小孔 的形貌和装调误差会对衍射波前质量产生影响，故本文研究了采用相位复原对小孑L衍 射波前质量进行测评的方法 。设计并搭建 了衍射波前测试装置 ，对光纤衍射波前进行了测评实验 。为了验证测试方法 的有效性 ，分别对采集的衍射图像与重构的衍射图像 ，以及测试获得的振幅分布与理论计算获得的振幅分布进行了对 比。结果显示 。采集 图像与重构 图像之间的差异为 0．32 ，验证 了采用相位复原技术进行衍射波前测试方法 的有效 性 。同时，对干涉方法测量与相位复原结果进行 了对 比，二者差异仅为 0．0014XRMS。 关 键 词 ：光学检测 ；点衍射干涉仪 ；相位复原 ；衍射波前 中图分类号 ：0436．1：TH744．3 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE2639 Evaluationofwavefrontdiffracted from ultrasmallaperture SHAOJing ，MA Dong—mei ，ZHANG Hai—tao ，YU Jie，ZHOU Feng (1．StateKeyLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsand Physics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China； 2．UniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100049，China) *C0rr 0咒 咒gauthor，E-mail：dongmei — ma2013@163．corn Abstract：Asthemorphologyofanultrasmallapertureandtheassemblingerrorwillaffectthequality ofwavefrontdiffractionindevelopmentofapointdiffractioninterferometer，thispaperexploresane— valuatingmethodforwavefrontdiffractedqualityfrom theultrasmallaperturebasedonthephasere— trieva1．Thetestingequipmentsforwavefrontdiffractionwasdesignedand theevaluatingtestingex— perimentforthewavefrontdiffraction were performed．To verify theeffectivenessofthemethod basedonthephaseretrieval，thecapturedandreconstructedimageswerecompared，andtheobtained amplitudeswiththetheoreticalcalculationandexperimentaltestwerealsoanalyzed．Theresultsshow thatthedifferencebetween capturedimagesandreconstructedimagesisonly