原子力显微镜在纳米摩擦学中应用的进展.PDF

第 18 卷　第 1 期 摩 擦 学 学 报 18, 　 1 V o l N o 1998 年 3 月 TR IBOL O GY M arch , 1998 ( ) 评述与进展 88～ 96 原子力显微镜在纳米摩擦学中应用的进展 聂时春　张嗣伟　王洪波　高芒来 (石油大学　北京　102200) 摘要　近年来, 原子力显微镜在纳米摩擦学研究中获得了越来越广泛的应用, 已经成为进行纳 米摩擦学研究的重要工具之一, 有力地促进了纳米摩擦学的发展. 因此, 对应用原子力显微镜研 究纳米摩擦、纳米磨损、纳米润滑、纳米摩擦化学反应和微型机电系统的纳米表面工程等方面所 取得的主要进展作了系统的综合归纳与阐述, 并且提出了原子力显微镜在纳米摩擦学应用中亟 待解决的几个主要问题. 关键词　原子力显微镜 纳米摩擦 纳米磨损 纳米润滑 纳米摩擦化学反应 微型机电系统 分类号　TH 742 自80年代以来, 一系列扫描探针显微镜和电子计算机的迅速发展, 使人类实现了纳秒与 [ 1 ] [2 ] 数十纳米尺度的过程模拟 , 从工程和技术的角度, 开始了微观摩擦学研究 , 提出了分子 [3 ] [4 ] 摩擦学 和纳米摩擦学 的新概念. 纳米摩擦学是摩擦学新的分支学科之一, 它对纳米电子学、纳米材料学和纳米机械学的 发展起着重要的推动作用, 而原子力显微镜在摩擦学研究领域的应用又将极大地促进纳米 摩擦学的发展, 不仅可以实现纳米级尺寸和纳牛级微力的测量, 而且可以得到三维形貌、分 形结构、横向力和相界等信息, 尤其重要的是还可以实现过程的测量, 达到实验与测量的统 一, 是进行纳米摩擦学研究的一种有力手段. 本文作者对近年来国内外在应用原子力显微镜 进行纳米摩擦学研究方面所取得的进展作一综合介绍与评述. 1　原子力显微镜的发展概况 原子力显微镜( ) 也称扫描力显微镜( ) , 它是由 等[ 5, 6 ] 在扫描隧道显微 A FM SFM B inn ig ( ) [7 ] 镜 STM 的基础上研制成功, 且经N eub au er 等 进一步发展的, 商品化的A FM 都有测量 摩擦力的配件. 一般认为, 摩擦力显微镜(F FM ) 或者横向力显微镜(L FM ) 就是A FM 中的 [ 8 ] 一种 . A FM 的原理是基于原子线宽的探针尖端靠近平滑样品表面时, 通过检测针尖原子 与样品原子之间存在的微小斥力, 实现样品表面的成像. 如果在针尖表面附上热电偶, 则可 [3 ] [9 ] 以感应温度的变化, 达到样品表面相界的成像. A FM 的工作环境可以是真空 、气体 、电 化学环境[ 10 ]、超高真空[ 11 ] 和溶液[ 12 ] , 样品可以是金属、半金属、半导体及绝缘体, 基底可以 到初稿, 19980 111收到修改稿本文通讯联系人张嗣伟. 聂时春　男, 23岁, 在读硕士研究生, 从事纳米摩擦学研究.