《测控仪器设计》2014上课(第六章).ppt

哈尔滨工业大学光电测控技术研究所 光电系统的类型 1．主动系统与被动系统 2．模拟系统与数字系统 3．直接检测系统与相干检测系统 第二节、光电系统特性 第二节、光电系统特性 （二）光谱特性及光谱匹配 为了提高光能的利用效率，要求检测器件的光谱灵敏度分布和辐射源的辐射度分布及各传输环节的透过率分布相覆盖 。检测器件的输出可表示为 ： 第二节、光电系统特性 （三）光电灵敏度特性 光谱响应率又称光电灵敏度，它是光电系统的光 电检测器件的输出（电压V或电流I）与入射光通量 之比，即 第二节、光电系统特性 （四）频率响应特性 即当入射光照是以一定频率变动的交换光信息时，光照频率 的变化将会引起光电器件响应率的变化。一般地，响应率随 光照频率升高而降低 第二节、光电系统特性 （五）光电系统的探测率D 光电系统的探测率表征光电系统的探测能力，越大表 征探测能力越强。 第三节、光电系统设计原则 1）光谱匹配 2）功率匹配 3）阻抗匹配 第三节、光电系统设计原则 二、干扰光最小原则 第三节、光电系统设计原则 二、减少干扰光措施 第三节、光电系统设计原则 三、共光路原则 第四节、光电测量系统中的光源及照明系统 一. 常用的光源 1）太阳光，白炽灯 2）气体放电光源 3）半导体发光器件 4）激光光源 二.照明系统设计要求： 三、照明系统需要满足原则 三、照明系统种类 这种照明系统可以检测反射镜面上的缺陷。如果被测表面是镜面，则镜面的反射光线全部进入物镜成像，因此整个图像都是白色。当镜面上有腐蚀斑点或者污渍时，所产生的漫反射光线进入物镜的甚少，因此图像上将产生黑色的斑点。 第五节、直接检测系统的设计 （一）直接检测系统的组成 直接检测系统的应用 用检测光透过率的方法可以测物质透明度、液体 纯度、反射率、大气质量监测、光的偏振状态； 检测调制光的频率和波数变化可以测速、测角和 测距； 利用光学成象和象分析器可以定位、尺寸检测、位置检测；利用多光谱的光谱分析可以测温等。 光学显微系统参数的确定 光学显微系统的特点： 计量仪器光学光学显微系统可分为： （1）观察物体表面轮廓和形貌 （2）瞄准和读数。 对于（1）关键是光学分辨率，并由此确定系统的数值孔径、放大率等；对于（2）从瞄准、读数精度出发来决定其参数。 主要参数的确定 放大率： 数值孔径: 视场: 工作距离: 光阑: 例子：直接位置检测系统-基于微小零件显微成像系统 相机的选择：PIKE F505B。 分辨率2452?2054，像元3.45?m?3.45?m，像面尺寸8.5mm?7mm。 三角法测距； 相位法（连续波）测距； 时间法测距 。 三角法测距原理与设计要求 照明光源应稳定，且照度应均匀。 光学系统像差要小，像的对比度好。 用于对准的标志物或被检测的物的边缘应清晰、陡直、无毛刺。 像分析器的位置相对测量基准要精确校准；。 在用扫描调制法进行调制时要求调制中心稳定，调制幅度恒定。 利用相干变换的方法来携带被测信息，可将信息加载于相干光波的振幅、频率和相位之中，因此相干检测比直接检测手段更丰富，测试精度和分辨力更高。广泛地应用于精密测长、测角、测距、测速、测力、测振、测应变及光谱分析等。 光学测量中，常常需要利用相干光作为信息变换的载体，将被测信息加载到相干光载波上，使光载波的特征参量随被测信息变化。干涉测量的作用就是把光波的相位关系或频率状态以及它们随时间的变化关系以光强度的空间分布随时间变化的形式检测出来。 当两束频率相同的光（即单频光）相干时 干涉条纹的强度取决于相干光的相位差，而后者又取决于光传输介质的折射率对光的传播距离的线积分，即 设计要求：设计一台测量范围0-3m，测量准确度为 微米 初始位置时 从而被测长度为 激光干涉仪设计须注意问题 1）干涉仪的布局应合理，应尽量遵守阿贝原则和共路原则，同时应尽量使初始程差为零，尽量减小力变形和温度变形。 2）应解决干涉测量基准的稳定性问题，即激光波长要稳定，从而使尽量小，因此应采取稳频措施。 3）测量环境下空气折射率偏离标准状态而产生的不容忽视，由此而产生的测量误差，可采用空气折射率修正的方法来解决。 4）是计数误差，包括分辨力、计数器的稳定性及细分误差，选择合适的分辨力和提高细分精度是减小该项误差的主要办法。 干涉仪的布局 移相方法的选择 光波长的稳定和修正 空气折射率修正 光学退耦和非期望光的抑制 激光三角测头选择：KEYENCE LK-G150 测量范围：?40mm 工作距：150mm 再现性精度：0.25?m 线性度：0.05%L 显微光学系统的设计或