大口径光学元件表面灰尘与麻点自动判别-强激光与粒子束.PDFVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２６ １ Ｖｏｌ．２６ Ｎｏ．１ 　 　 年 月 ， ２０１４ １ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ｊａｎ． ２０１４ 　 　 大口径光学元件表面灰尘与麻点自动判别 李 璐， 杨甬英， 曹 频， 严 路， 王世通， 陈晓钰， 沈亦兵， 刘 东 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 （浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室，杭州 ３１００２７） 摘 要： 在大口径光学元件表面疵病初检时，灰尘和麻点由于形态类似，不易区分。针对该问题，提出了 　　 　 　 一种基于模式识别理论的灰尘麻点判别方法。该判别方法以既有的疵病检测系统为基础，根据灰尘麻点的暗 场成像特点，选取了合适的特征并根据因子分析理论对特征进行变换，最后基于贝叶斯判别原理对灰尘麻点进 行分类。采用自制定标板建立了灰尘麻点训练样本库，并进行多组实验，选取了合适的判别函数，最后进行了 对未知样品表面灰尘麻点的区分。实验结果表明，该判别方法的正确率可以达到 ９５％以上。目前此判别方法 已经用于惯性约束聚变系统中大口径光学元件表面灰尘与麻点自动区分。 关键词： 表面疵病； 灰尘； 麻点； 模式识别； 因子分析； 贝叶斯判别 　　 　 　 　 　 　 　 中图分类号： 文献标志码： ： ／ ＴＰ３９１．４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＨＰＬＰＢ２０１４２６．０１２００１ 　　 　 　　　　 　 　　 　　在惯性约束聚变系统中，需要采用大量高精度大口径光学元件。这些光学元件表面存在的划痕、麻点、碎 ［ ］ １３ 边等疵病将严重影响整个系统的正常运行，故而需要对表面疵病进行精密检测 。在对大口径光学元件表面 进行初检时，元件表面的灰尘由于形态与麻点类似，容易造成误判，从而降低了整个疵病检测系统的可靠性。 目前，国际上区分灰尘及麻点的方法主要有阴影法和激光三维扫描法。美国密歇根大学 ＬｉａｏＹｉ等人采用阴 ［］ ４ 影法区分机器加工面的残留污垢和凿孔，达到了较好的效果，但是精度限制在亚毫米量级 ；激光三维扫描区 ［］ ５ 分硅片表面灰尘和麻点，精度较高，但数据量庞大，后