测量低损耗薄膜材料介电常数的标量法.pdfVIP

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2017-10-25 发布于北京
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测量低损耗薄膜材料介电常数的标量法.pdf

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第卷第期电波科学学报 9 21 5 Vol.21 No.5 ! ! ! ! ! ! 年月 !!! !!!!! !!!!!!! ! 9 2006 10 CHINESE JOURNAL OF RADIO SCIENCE October 2006 ! ! ! ! ! ! ! 文章编号 ( ) 1005-0388 2006 05-0777-05 !! ! 测量低损耗薄膜材料介电常数的标量法栾卉1 2 赵凯1 ! ! ! (1.中国科学院东北地理与农业生态研究所9 luanhui mail.nei ae.ac.cn9 ! g 吉林长春 5 中国科学院研究生院9北京 ) 130012 2. 100049 摘要依据被测介质性质!在现有实验设备条件下!提出了一种标量法测量低损耗 ! ! 薄膜介质介电常数的新方法该方法利用传输线法测量原理!先测量待测介质损耗! 间接得到反射系数!由反射系数与介电常数关系式!推导得出待测介质的介电常数该方法有样品容易制作!测量简单准确等特点通过测量实例的误差分析!指出标量法测量薄膜材料介电常数的不足!提出相应的改进措施关键词低损耗!薄膜材料!介电常数!测量!标量法 ! 中图分类号 O441.6 文献标识码 A ! !!!! ! Measurement of permittivity for low loss film using scalar method LUAN Huil 2 ZHAO Kail ! (1. N Ortheast Institute O f GeOg raP h S And Ag ricu ltural ecO lOg S 9 Chinese AcademS O f Sciences 9 luanhui!mail . neig ae . ac . cn 9 9 5 Chang chun j ilin 130012 China 2. Graduate SchOO l O f Chinese