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激光衍射技术在石墨卷材厚度自动测量中的应用.pdf
第 卷第 期 红外与激光工程 年 月
30 5 # 2001 10
Voi . 30No .5 Infrared and Laser Engineering Oct .2001
文章编号： （ ）
1007-2276 2001 05-0377-05
激光衍射技术在石墨卷材厚度自动测量中的应用!
丛 虹，杨国光
（浙江大学现代光学仪器国家重点实验室，浙江 杭州 310027 ）
摘要：文中将激光衍射技术的测量推广到一个新的应用领域，即对宽度达 1. 5m 的柔性石墨卷
材进行测量。高质量的宽幅石墨卷材应用前景很广，但其生产过程要求必须有配套的实时、无损伤
的测量监测系统。文中以小功率的激光器作为光源，提出了一套可以对其厚度和均匀性进行在线
测量的方案———以相对比较测量法测厚度，以多点测量测均匀性。文中讨论了测量系统一些重要
相关参数的选取；对测量装置给出了一些从实践中总结的改良措施；还对衍射条纹的信号处理进行
研究。
关 键 词： 衍射测量； 比较法； 在线多点测量； 信号处理
中图分类号： 文献标识码：
TN249 A
Application of laser diffraction technology in automatical
measuring the thickness of graphite roll !
，
CONG Hong YANG Guo-guang
（ ， ， ， ）
State Key Laboratory of Modern Opticai Instruments Zhejiang University Hangzhou 310027 China
：
Abstract In this articie the iaser diffraction technoiogy is extended to a new appiication fieid to measure
the thickness of 1. 5-meter-wide soft graphite roii . The broad graphite roii in high guaiity has wide appiication，
but its production process must have corresponding reai-time and nondestructive measuring and observation sys-
，
tem . Using iow-power iaser as iiiuminant a set of appiicabie metroiogy scheme that couid measure both the
thickness and the uniformity of graphite roii is advanced -
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