点火靶用芯轴微球小批量测量.pdfVIP

第25卷第4期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．25，No．4 HIGH LASERAND BEAMS 2013年4月 POWER PARTICLE r．，2013 Ap 文章编号： 1001—4322(2013)04一0918一05 点火靶用芯轴微球小批量测量’ 刘梅芳， 史瑞廷， 陈素芬， 刘一杨， 苏 琳， 李 波， 张占文 (中国工程物理研究院激光聚变研究中心，四川绵阳621900) 摘 要： 基于VMR显微镜系统，提出了一种小批量测量聚r甲基苯乙烯(PAMS)芯轴直径和球形度的 方法，初选满足技术指标的微球。小批量测量1mm标准球，测量结果95％出现在(998．2±1．2)扯m之间。测 量值与标准值之间的偏差为标准值的O．06％，扩展不确定度偏差为测量值的O．24％，说明该批量测量结果准 确度和稳定性较好。将此方法应用于PAMS芯轴初选，与手动测量结果相比，批量测量结果的偏差具有单向 性，且最大偏差约10扯m，满足初选测量要求。 关键词： 芯轴；小批量测量； 直径；球形度；不确定度 中图分类号： TL639．11 文献标志码： A doi：10．3788／HPLP0918 作为芯轴材料的聚a一甲基苯乙烯(PAMS)微球直径和球形度将直接决定最终点火靶的直径和球形度。因此， 备的PAMS芯轴直径单分散性较好，但仍然不能满足点火靶丸对直径和球形度的要求[7]。目前国内利用乳粒 PAMS芯轴的初选是基于测量显微镜，人工手动聚焦，通过移动载物台获取微球投影圆上的直径，反复改变微 球位置可以获取多个方向上圆的直径。该方法获取直径和球形度的人力和时间成本高，且人为因素可能影响 挑选结果，不可控因素增加。目前，利用机械手捡取微球的技术较为成熟，实现半自动初选技术的关键在于如 何实现批量自动测量。发展利用机械手将芯轴放置阵列板上，批量自动测量微球直径，再利用机械手挑出合格 芯轴的自动批量初选技术，对于降低劳动强度，提高工作效率具有重要意义[9]。本文基于VMR显微镜系统， 以1mm标准球为测量对象进行直径和球形度的小批量半自动测量，介绍了微球批量测量方法及原理，分析了 测量结果的准确度与不确定度，并将此小批量半自动测量方法应用于PAMS芯轴初选。 1测量方法及原理分析 采用Nikon公司VMR显微镜系统，总放大倍数为542，分别以Bal—tec Surface Div．MicroEngr．公司生产的1mm(998．8±0．1)肛m铬钢标准球和 本课题组自制的PAMS芯轴[1“111为检测对象进行批量测量。批量测量的具 体操作如下：选取同批次中任一微球，利用VMR显微镜系统的自动影像对焦 和自动搜索(APS)功能，利用自动测量工具中的标准圆识别微球的外轮廓圆， 以识别出的圆为基准编写测量程序。如图1所示，记外轮廓圆的直径分别为 Fig．1Schematicformeasurementof L。，L：，L。，……。其中，最长直径设为L。。。，最短直径设为L。i。。系统统计测 diameter micro_ball and sphericity 量结果，得微球的平均外径z为 2—— 图1微球外径与球形度测量示意图 Zz一生!±生!±生!±：：：