双材料微梁阵列室温物体红外成像!-物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 (( #%%= ， ， ， Y+. 7(( O+ 7 ZG.3 #%%= （ ） !%%%@$#’%V#%%=V(( % V$#%@% 6:P6 5LWXR:6 XROR:6 #%%= :CA0 7 5C3H 7 X+, 7 双材料微梁阵列室温物体红外成像! ） ） ） ） ） ） ） ） ! ! # ! # ! ! ! 缪正宇 张青川 陈大鹏 伍小平 李超波 郭哲颖 董凤良 熊志铭 !）（中国科学技术大学，中国科学院材料力学行为和设计重点实验室，合肥 #$%%# ） # ）（中国科学院微电子研究所，北京 !%%%#’ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） #%%( !( #%%( !% #% 针对近年出现的新概念光学读出双材料微梁阵列红外成像技术，提出了具有热变形放大效果的无硅基底回折 腿间隔镀金的微梁单元结构，并建立了其热机械模型，在模型分析基础上，成功的设计制作了!%% ) !%% 像素的焦平 面阵列（ ， ）在构建的红外成像系统中，实现了对室温物体———人体的热成像，噪声等效温度差约 *+,-. /.-01 -22-3 456 7 为#%%89 7 实验结果与热机械模型的分析一致7 关键词：非制冷红外成像，光学读出，双材料微梁阵列 ： ， !## %!%: ;#$ 技术，探测的红外波长为 —!; 8 （对应室温即 ! !K 引 言 $%%9 物体所辐射的红外光的峰值波段），其敏感单 ［］ $ 元为双材料微悬臂梁 入射的红外光能被探测单 7 自从 !%% 年 L12H,C1. 首先演示红外辐射的热 元吸收后转化为悬臂梁的热能，引发悬臂梁产生热 效应以来，红外探测器作为一种探测技术得到了长 致形变，再通过光学读出系统，非接触的检测出形 足发展，在军事和民用领域中得到广阔应用 按照能 7 变，例如悬臂梁的挠度或转角等，就可以得到被测物 量转换方法的不同，红外探测器分为光子型探测器 体的热辐射信息7 这