O3非晶薄膜透射光谱性质研究-中国科学院上海技术物理研究所联合.PDFVIP

第 22卷第 3期 红 外 与 毫 米 波 学 报 Vo1．22，No．3 2003年 6月 J．InfraredMillim．Waves June，2003 PbZr0 Ti0 O3非晶薄膜透射光谱性质研究 ． 40 ． 60 胡志高 王根水 黄志明 孟祥建 赵 强 石富文 褚君浩 (中国科学院上海技术物理研究所，红外物理国家重点实验室，上海，200083) 摘要 采用溶胶凝胶方法在石英玻璃上制备 了均匀透明的PbZr 。Ti。O (PZT)非晶薄膜，测量了200—1100nm 的紫外可见近红外透射光谱．根据经典的包络计算方法，同时获得薄膜在透明振荡区的折射率，消光系数以及厚 度．薄膜 的折射率色散关系可 以通过单 电子 sellmeier振荡模型成功地进行解释．最后，根据 Tauc 法则，得到 PbZr 。TiD_6。O 非晶薄膜的禁带宽度为3．78eV． 关键词 PbZr 。Ti。O，，非晶薄膜，光学常数，禁带宽度． INVESTIGATIONSON THE TRANSMISSION SPECTRA OF PbZro Ti0．60O3AMORPHOUSTHIN FILMS ． 4o HU Zhi．Gao WANG Gen-Shui HUANGZhi—Ming MENGXiang—Jian ZHAOQiang SHIFu--Wen CHUJun--Hao (NationalLaboratoryforInfraredPhysics，ShanghaiInstituteofTechnicalPhysics，Chinese AcademyofSciences，Shanghai200083，China) Abstract UniformandtransparentPbZr040Ti060O3(PZT)amorphousthinfilmsweredepositedonthefusedsilicasub— stratesusingamodifiedsol-gelprocessing．TheopticalpropertiesofPZT amorphousthin filmswereinvestigatedinthe wavelengthrange0f200 1100nm．Therefractiveindex，theextinctioncoefficientandthefilm thicknesswerecalculated bvaclassicalenvelopemethod．Thedispersionoftherefractiveindexiswellexplainedbythesingle-term Sellmeierrela- tion．ThebandgapofthePbZr040Ti060O3thinfilmsisabout3．78eVusingTauc’stheory ． Keywords PbZr040Ti060O3，amorphousthinfilms，opticalconstants，bandgapenergy． 对于 PbZrTi。一O 薄膜的光学性质研究，Troli- 引言 er．Mckinstry 等人研究了PbZrTi1一O 薄膜 的椭 利用铁电薄膜的一系列重要性质，如高介电、铁 偏光谱 ，测试 A范围为 300～700nm．但是 ，研究的 电、压电、热释电和电光等可制作各种功能器件．其 样品均为结晶薄膜 ，而且没能给出PbZrTi一O 薄 中，锆钛酸铅(PbZrTi。一O)薄膜因其在 电光器件、 膜的消光系数．Zhu等 ，李辉遒等 ¨叫和莫党等