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X光薄膜绕射仪简介.PDF
X
X X
75
Philips PW1700 X
(Thin Film
Materials)
X
Philips PW3020
XPERT X
(Thin Film Attachment)
Philips PW1821 (Filter)
(MPSS, Multipurpose Sample (Excellent Linearity and M P S S
S t a g e ) P W 3 0 2 0 Reproducibility) 100mm
XPERT 100mm 1Kg
(DC Motors)θ2θ 0°~ 360°
X (X- ( A c c u r a c y )
(Optical Encoder Disks) ray Parrallel Beam Collimator) ± 15µm ± 5µm
0.0001° LiF (Flat LiF (Dial Gauge)
0.005° (θ, 2θ) Monochromator) (Precision) ± 2 µm
X MPSS
0.25°
2θ 0 ~ 163°
θ 0 ~ (2θ~ 10°)
XPERT Kβ
– 128 – 102 84 6
X
X
X Kα
(a)
X (Phase Analysis of Thin Poly-
50Å crystalline Layers)
X α Bragg (GIABD,
C
Grazing Incidence Asymmetric
Bragg Diffraction)
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