X光薄膜绕射仪简介.PDF

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X X X 75 Philips PW1700 X (Thin Film Materials) X Philips PW3020 XPERT X (Thin Film Attachment) Philips PW1821 (Filter) (MPSS, Multipurpose Sample (Excellent Linearity and M P S S S t a g e ) P W 3 0 2 0 Reproducibility) 100mm XPERT 100mm 1Kg (DC Motors)θ2θ 0°~ 360° X (X- ( A c c u r a c y ) (Optical Encoder Disks) ray Parrallel Beam Collimator) ± 15µm ± 5µm 0.0001° LiF (Flat LiF (Dial Gauge) 0.005° (θ, 2θ) Monochromator) (Precision) ± 2 µm X MPSS 0.25° 2θ 0 ~ 163° θ 0 ~ (2θ~ 10°) XPERT Kβ – 128 – 102 84 6 X X X Kα (a) X (Phase Analysis of Thin Poly- 50Å crystalline Layers) X α Bragg (GIABD, C Grazing Incidence Asymmetric Bragg Diffraction)

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