基于亚波长二维光栅的入射角不敏感颜色滤光片研究-物理学报.PDFVIP

物理学报 Acta Phys. Sin. Vol. 62, No. 6 (2013) 064204 基于亚波长二维光栅的入射角不敏感 颜色滤光片研究* † 洪亮 杨陈楹 沈伟东 叶辉 章岳光 刘旭 ( 浙江大学光电信息工程学系, 现代光学仪器国家重点实验室, 杭州 310027 ) ( 2012 年7 月13 日收到; 2012 年9 月19 日收到修改稿) 提出了一种基于二维亚波长光栅的具有非偏振光入射下入射角不敏感特性的反射式颜色滤光片. 采用严格耦 合波分析方法详细分析了光栅周期、光栅层厚度以及固定光栅占空比下光栅的结构尺寸对反射率峰值、反射带位 置及带宽的影响. 结合入射角不敏感特性, 经过优化设计得到了光栅的最终结构参数, 获得了中心波长424 nm, 峰值 反射率56%, 带宽45 nm 的反射滤光片. 模拟结果表明, 在非偏振光入射下, 此滤光片的反射光谱表现出显著的入 射角不敏感特性. 当入射角高达60◦ 时反射带的中心波长偏移6 nm 反射率下降6%带宽增加8 nm 其参数没有较 大变化通过调整光栅的结构参数可在400—520 nm 范围内调节滤光片的中心波长以获得不同颜色的入射角不敏感 滤光片. 关键词: 反射式滤光片, 二维亚波长光栅, 入射角不敏感, 严格耦合波分析 PACS: 42.25.Fx, 42.79.Ci DOI: 10.7498/aps.62.064204 透射颜色滤光片, 但其特性会随入角度而变化. 研 1 引言 究人员还提出了层叠的亚波长光栅结构8−11 , 将 两层一维或二维的亚波长光栅层叠起来, 得到正入 具有入射角不敏感特性的颜色滤光片在传感 射下性能更佳的颜色滤光片. 为了改善入射角不敏 探测、液晶显示、彩色印刷和装饰等领域具有重 感特性, Cheong 等1213 使用高折射率的硅作为二 要的应用前景. 传统的光学薄膜干涉滤光片有显著 维亚波长光栅材料来实现强调制光栅, 得到了s 偏 的蓝移现象, 即光谱曲线会随着入射角的增大向短 振光入射情况下具有较大角度不敏感特性的反射 波方向移动, 因而限制了其在大角度下的应用. 近 式滤光片. 然而, 其结构在p 偏振入射的情况下, 随 年来, 随着微纳米光栅电磁理论研究的深入和微纳 着入射角的增大, 反射率不断降低且带宽不断减少, 米加工技术的发展, 研究人员提出了各种由亚波长 光栅结构构建的颜色滤光片1−5 . 导模共振滤光片 因而在非偏振光入射的情况下随入射角增大其通 12 通过将光栅介质内的高级次泄漏模与波导模式 带反射率会大幅下降. 目前尚未见非偏振光入射下 耦合, 在很小范围内引起入射光能量在反射和透射 光学特性随入射角不敏感的反射滤光片的报道. 间的切换, 从而得到超窄带的滤光片, 然而导模共 本文提出了一种基于亚波长二维光栅结构的 振滤光片对入射角度极为敏感, 即使可以通过结构 入射角不敏感反射式滤光片. 使用严格耦合波分 优化等手段扩展其入射角容忍度, 但还是难以得到 析理论(rigorous coupled-wave analys