表面热透镜技术探测光学薄膜的微弱吸收.pdf

文章编号： （ ） 表面热透镜技术探测光学薄膜的微弱吸收 胡海洋 范正修 （中国科学院上海光学精密机械研究所，上海 ） 赵 强 （ ， ， ， ） 摘要： 对表面热透镜技术测量光学薄膜的微弱吸收进行了理论分析，并以此建立了薄膜微弱吸收测量实验装置， 对几种典型薄膜的吸收进行了测试，证实了这种方法的可行性。 关键词： 表面热透镜技术；热偏转技术；薄膜；弱吸收 中图分类号： 文献标识码： 引 言 直接对 高功率激光薄膜的吸收特性进行测 ! 量，为改进高功率激光膜的质量打下必要的基础，加 光学薄膜吸收损耗的存在，不仅影响薄膜的光 上 抽运源， 离子抽运源， 抽运源等，使 学质量，更会造成激光在薄膜内的热沉积。特别是 得该装置可以进行多波长的光热测量。 在高功率激光作用下，即使十分微弱的吸收也足以 本文结合自由空间中传播的菲涅耳衍射理论对 导致薄膜元件的灾难性破坏。导致破坏的吸收可能 这种表面热透镜技术进行了理论分析，它是传统光 来自于薄膜的本征吸收，更大程度是来源于薄膜中 热偏转法的进一步改进，具有诸多的优越性以及巨 的杂质、缺陷引起的局部额外强吸收，因而有必要对 大的应用潜力，其最终将取代偏转法，朝实用化、仪 薄膜的这种平均吸收及局部吸收进行精确、快速、实 器化方向发展。 时地检测，从而达到减少薄膜的吸收损耗、制备出高 质量的光学薄膜的目的。 基本原理 光热技术对弱吸收测量具有极高灵敏度和空间 分辨率，为上述测量提供了可能。它通过对材料或 传统的反射式光热偏转技术利用一束高度聚焦 表面在光能作用下所产生的热形变、热辐射、热折射 的激光，探测被抽运激光加热的样品表面热包区域， 等不同效应的探测，了解材料及表面的光热特性和 表面热包使探测光的反射发生偏转，偏转量由四象 热物特性。在以往的工作中，利用光热偏转技术测 限探测器测量，测得信号与样品表面热包的斜率成 量薄膜的吸收特性已广泛被国内外同行所认可及采 正比，如图 （）所示。由此方法测得的信号对抽运 ［ ］ 用 ，但是由于光热偏转技术的探测光束的光斑 光与探测光的相对径向偏移十分敏感，因而使实验 ［］ 小于抽运光束的