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微塑性成形技术的研究进展
单德彬，郭 斌，王春举，周 健，袁林
摘要：介绍了塑性微成形技术的发展背景及其基本特点，综述了尺寸效应及其对微塑性成形工艺的影响、微
型构件微塑性成形工艺以及微成形装置的研究现状，并对其发展趋势进行了预测．
关键词：微塑性成形技术；尺寸效应；微型构件
中图分类号：TG306 文献标识码：A 文章编号：1005—0299(2004)05—0449—05
inmicro
Developmentformingprocess
SHAN Lin
De-bin，GUOBin，WANG Jian，YUAN
Chun-ju，ZHOU
ofMaterialsScienceand Institute
(Schcot ofTechnology，Harbin
Engi∞eling，Harbin
of
Abstract：The andthecharacteristicsthemicro are overreviewcoversthede—
background formingpresented．An
intheeffectoftheminiatureonthe andthe
velopment forming，micropartsformingprocess formingapparatuses．
trendsinmicro mdiscussed．
Finally．the forming
words：micro effect；micro
Key forming；size parts
近年来，以形状尺寸微小或操作尺度极小为 应用范围．精密微塑性成形技术可以采用各种塑
ElectroMechanical
特征的微机电系统(Micro Sys． 性加工方法，如冲裁、拉深、挤压、锻造、模压和弯
曲等，精密成形各种复杂形状的微小零件，零件的
tems，MEMS)受到人们的高度重视，逐渐成为航空
航天、精密仪器、生物医疗等领域的研究热 尺寸可以达到500nm到500
tan范围，特别适于
点…12|．随着微机电系统从基础研究阶段逐步跨 微机电系统(MEMS)器件的制造．由于成形件的强
入研制开发和实用阶段，对微机电系统器件的加 度高、表面质量好、尺寸精度高，而且工艺简单、生
工、加工质量、成本和批量等提出了新的要求，这 产效率高、成本低，微塑性成形技术在微型器件的
些要求的核心是能够低成本大批量制造微型器 批量制造方面显示出巨大的潜力[3，4I．以微／纳米
件．传统的基于激光、LIGA等微细加工技术已不技术为基础，采用现代实验方法和手段的微塑性
能满足微型器件批量制造的要求．而在宏观世界 成形
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