关于适度光反馈自混合干涉技术的振动测量.pdf

第27卷第8期 光学学报 v01．27，No．8 2007年8月 ACTA0PTICASINICA August，2007 2239(2007)0814305 文章编号：0253 基于适度光反馈自混合干涉技术的振动测量+ 禹延光 郭常盈 叶会英 (郑州大学信息工程学院，郑州450052) 摘要：光反馈自混合干涉技术是一种新浮现的有别于传统双光束干涉的一类新的测试技术。为r在适度光厦馈 下进行振动的精密测量，提出了一种基于适度光反馈自混台下涉技术的振动测量方法。经对光反馈自混合千涉信 号条纹分析，发现通过选定合适的光反馈水甲及激光器线宽展宽因数，可以得到锯齿干涉条纹。这种干涉信号小 仅包含振动幅度信息也包含振动方向信息。该振动测量方法利用锯出十涉条纹的特点，首先通过条纹记数实现大 范围振幅粗测，具有半波长位移分辨力；然后基于适度光反馈下小数条纹的特点，给出了小于半波长位移测量的线 性表达式，从向实现位移的精测。仿真计算表明，该方法町以实现大量程高分辨力振动位移测量，在叠加20dB的 噪声F，振幅测量相对误差平均为05％。 关键词：振动测量；半导体激光传感器；光反馈白混合干涉；小数下涉条纹 中网分类号：TN248．4义献标识码：A VibrationMenasurementBasedon ModerateFeedback Optical Interference Self-Mixing Yu Guo Ye YanguangChangyingHuiying (School 450052) ofInformating眈鲋neering，ZhengzhouUniversity，Z船ngzhou feedback isall andmeasurement is Abstract：Opticalself-mixinginterferometryemergingsensing technique，which differentwithtradifionaldouble-beam vibrationmeasurementunderthe quite interferometxy．Toperformprecision conditionofmoderatefeedback，avibrationmeasurementmethodis basedonmoderate optical proposed opticaI feedback interferenceBasedonthe ofthe feedback inteference self-mixing analysisoptical self-mixing signalfringes， itisfoundthatsaw—like inthe wflveformscanbeobserved the fringesself-mixingsignal byproperlychoosingoptical feedback】evel