利用 AFM 机械刻蚀技术在OTS自组装单分子膜表面制备纳米图案和其力学性能研究.pdf

第28卷第1期 摩擦学学报 Vol28． No1 2008年1月 TRIBOLOGY Jan，2008 表面制备纳米图案及其力学性能研究 刘建喜1，赵 晶1’，刘志鲁1…，陈 淼1 (1．中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室，甘肃兰州730000； 2．中国科学院研究生院，北京100039) 设计针尖走向，以金刚石针尖作为加工工具，在OTS自组装单分子膜的Si(111)表面刻蚀不同结构的纳米图案，通过 预设针尖移动距离和扫描头Z向位移等参数控制纳米结构的大小和深度．结果表明：利用原子力显微镜(AFM)机械 刻蚀技术在OTS自组装单分子膜的si(111)表面加工出大小、深度可控的纳米图案，其中载荷与加工深度基本呈线性 关系；所获得的纳米图案结构清晰，刻蚀试验的重复性较好；经过刻蚀后的图案化区域为裸露的SiO：／Si表面，与OTS 覆盖区域相比其摩擦力和粘附力较大，其表面性质具有明显的可分辨性． 关键词：原子力显微镜(AFM)；十八烷基三氯硅烷(OTS)；纳米加工；摩擦力；力分布成像 中图分类号：THll7．2 文献标识码：A 随着纳米电子学的发展，纳米尺度上超微细结 膜．将经过羟基化处理的单晶硅片浸人OTS浓度为 构的加工技术受到广泛重视．制备纳米结构表面的 2．5mmol／L的正己烷溶液中，室温组装反应12h， 传统方法主要以光刻蚀为主11J，但受光源波长和衍 反应结束后分别用正己烷和乙醇超声清洗，氮气吹 射极限等因素限制，加工线宽不可能无限制缩小且 干后备用． 对环境要求苛刻．基于原子力显微镜的纳米结构加 1．2表面纳米结构的加工 工技术旧。以其可控性好、分辨率高及可在不同环境 下进行加工，而且加工与检测同步等特点已成为获 (SPM)进行纳米结构的刻蚀加工、表面形貌检测和 o 得纳米结构的重要方法∞o．其中机械刻蚀技术Mp 力学性能研究，所有试验均在大气环境中进行，室温 在表面纳米加工应用中取得了瞩目成就．Mamin 等∽1利用AFM机械刻蚀实现了原子力只读存储；描模式． Sugihara等1采用这种方法在脂肪酸的单分子层上通过自编刻蚀程序设计针尖走向获得不同结构 nm． 加工出纳米级结构，其最小点的直径约为20 的图案，在刻蚀程序中预设针尖移动距离、单个图案 本文作者采用金刚石针尖在十八烷基三氯硅烷 问间距、扫描头z向位移及刻蚀速度等参数，以得 (OTS)自组装单分子膜的si(111)表面进行机械刻到图案大小、间距及刻蚀深度等可控的纳米结构．采 划得到不同图案大小和刻蚀深度的纳米结构并原位 287．7 nm／s． 检测刻蚀后样品表面与AFM针尖之间的作用力，以 N／m)作为刻蚀加工针尖，刻蚀速度40 期为AFM机械刻蚀技术在微制造、生物传感器和表 面性质研究等方面的应用提供实验依据． 面并确定加工位置，然后在接触模式下下针，通过力 调制技术最小化金刚石针尖与样品的作用力，防止 1实验部分 针尖破坏样品表面，然后再调入刻蚀程序，通过在程 1．1 OTS自组装膜的制备 序中预设扫描头z向位移实现加载，进行“LICP’’字 在羟基化Si(111)表面制备OTS自组装单分子母图案的刻蚀加工． 基金项目：国家自然科学基金资助项目；国家973项目资助(2007CB60760