控制高功率激光器腔镜及窗口微变形技术的探讨.pdfVIP

第14卷第1期 电光与控制 V01．14No．1 2007年2月 EI正CTRONICS0PrnCS＆CONrrROL Feb．2007 文章编号：1671—637X(2007)0t一0081．04 控制高功率激光器腔镜与窗口微变形技术的探讨 马梦林1．一， 郭 劲1， 张来明1，一， 杨 飞1 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，长春130033；2．中国科学院研究生院，北京100039) 摘 要： 阐述了用来控制和改善高功率激光器腔镜及其窗口热变形产生的破坏的几种技术， 如水冷技术、半导体致冷技术和相变致冷等技术。由于各种技术应用原理不同，其适用的范围也有 很大的差别。其中一种新技术多层水冷技术适应性比较广，并且能有效地减少高功率激光器热效 应对其光学元件的影响，从而使镜面变形得到很好的控制。 关键词： 多层水冷技术； 微变形； 高功率激光器 中图分类号：V271．4；TN243 文献标识码：A the of of on control Study · ● ● ● ● ● ● ’ resonatornUrrorSandwindoWSln laser nlgnp0Wer MA Jinl，ZHANG Feil Meng—linl，一，GUO Lai—min91，-，YANG Institute Mechanicsand 130033，China；2 (1．ChangchunofOptics，Fine Physics，ChineseAcademyofSciences，Changchun GraduateSchooltheChinese 100039) of AcademyofSciences，Belting Abstract：Afewof are asthe thermoelectric demonstrated，suchwater—cooling，the technologies cooling， SO the and on．Alloftheseareinducedtominimizethethermaldeformationanddam- phase—changecooling ofresonatormirrorsandwindowsin tothe technolo— hi【gh working age powerlaser．According principle，these aieusedindifferentlasers．The of ismore techn