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⒉ 中间镜 中间镜是一个弱激磁长焦距的变倍电磁透镜，可在0~20倍范围调节。当M＞1时，用来进一步放大物镜的像（显微图像） ；当M＜1时，用来缩小物镜的像（衍射花样）。 在电镜操作过程中，一般固定物镜和投影镜的放大倍数，主要利用中间镜的可变倍率来控制电镜的总放大倍数。 如：M物=100， M中=10， M投=100， M总=100×10×100=100，000 M物=100， M中=0.1， M投=100，M总=100×0.1×100=1000 放大倍数越大，成像亮度越低。成像亮度与M中2成反比。因此，要根据具体要求选用成像系统的放大倍数。 TEM 如果把中间镜的物平面与物镜的像平面重合，则荧光屏上得到的是一幅放大像（显微图像），即TEM高倍放大操作。 物镜 物 物镜像平面 中间镜 中间镜像平面 荧光屏 中间镜物平面 TEM 如果把中间镜的物平面和物镜的背焦面重合，荧光屏上得到的是一幅电子衍射花样，即TEM的电子衍射操作。 TEM 投影镜 物 物镜 物镜背焦面 中间镜 中间镜像平面 荧光屏 中间镜物平面 选区光阑 ⒊ 投影镜 投影镜的作用是把经中间镜放大（或缩小）的像（衍射花样）进一步放大，并投影到荧光屏上。 投影镜是一个短焦距强激磁的透镜，激磁电流是固定。因为成像电子束进入投影镜时孔径半角很小，因此，它的景深和焦长很大。即使改变中间镜的放大倍数，TEM总放大倍数有很大变化，也不会影响图象的清晰度。 目前，高性能TEM电镜都采用5级放大系统，即两个中间镜和两个投影镜。 TEM 7.3 观察记录系统 TEM的观察和记录装置主要有荧光屏和照相机构。在荧光屏下方，放置一个可以自动换片的暗盒。照相时只需把荧光屏竖起，电子束即可使底片曝光。 由于TEM的焦长很大，虽然荧光屏和底片之间有十几厘米，仍能得到清晰的图象。 7.4 真空系统 真空系统用来维持镜筒(凡是电子运行的空间)的真空度在10-4 Torr以上（LaB6 10-7 Torr,场发射需要10-9 Torr ），以确保电子枪电极间绝缘，防止成像电子在镜筒内受气体分子碰撞而改变运动轨迹，减小样品污染等。 TEM 7.5 电源系统 透射电镜需要两部分电源：一是供给电子枪的高压部分，二是供给电磁透镜的低压稳流部分。 电源的稳定性是电镜性能好坏的一个极为重要的标志，对供电系统的主要要求是产生高稳定的加速电压和各透镜的激磁电流。 TEM 5.7 TEM的主要部件 7.5.1 样品台 样品台的作用是承载样品，并使样品能作平移、倾斜和旋转，以选择感兴趣的样品区域或位向进行观察。TEM的样品放置在物镜的上下极靴之间，样品很小，通常是φ3mm的薄片。 TEM 4电磁透镜结构 电磁线圈：产生磁力线 软铁壳：提高磁力线密 集程度，从而提高磁感应强度，增大对电子折射能力 极靴：使磁场强度有效集中在狭缝几毫米范围内。 TEM 有极靴 B（z） 没有极靴 无铁壳 电磁透镜 由图可见，有极靴的电磁透镜，其中心磁感应强度远高于无极靴和纯线圈。 纯线圈 带铁壳 带极靴 电磁透镜成像时满足光学透镜成像基本公式，即物距u、像距v和焦距 f 满足下式： 对于电磁透镜，其焦距 f 是可以改变的，f 常用近似公式为： 式中K为常数；Ur是经相对论校正的电子加速电压；IN是线圈的安匝数。 改变激磁电流可以方便地改变电磁透镜焦距。且电磁透镜焦距 f 总为正的，表明电磁透镜只有凸透镜，不存在凹透镜。 TEM 5 电磁透镜的像差及其对分辨率的影响 根据 知，光学透镜其最佳分辨率为波长一半，而对于电磁透镜远远达不到。以H-800电镜为例，加速电压为200kV时，理论极限分辨率为0.00125nm，而实际上只有0.45nm。 电磁透镜分辨率除了受衍射效应影响外，还受到像差影响，降低了透镜的实际分辨率，使其远低于半波长。 5.1 球差—Δrs 球差—由于电磁透镜近轴区域和远轴区域磁场对电子折射能力不同而产生的一种像差。 TEM P’ P P’’ 物 2Δrs RS 一个理想物点P经透镜折射后，远轴的电子通过透镜是折射得比近轴电子要厉害多，以致两者不交在一点上，结果在像平面成了一个散焦圆斑，如图示。若用像平面沿主轴从前焦点移动到后焦点，将得到一个最小散焦斑（半径为Rs）。将最小散焦斑还原到物平面上，得到半径为Δrs= Rs/M圆斑。 像平面 2Δrs 2RS 定义Δrs为球差 其中：Cs—球差系数，通常电磁透镜的Cs相当于焦距， 约为1~3mm；α—孔径半角。 通过减小Cs和降低α来减小球差，尤其减小α可以显著降低Δrs。但无法通过凸、凹透镜的组合设计来补偿或矫正。 TEM 一个理想物点P 透镜球差 一个半径为Δrs漫散圆