线性微波化学气相沉积制备SiNx薄膜的微结构及光学性能研究.PDFVIP

线性微波化学气相沉积制备SiN 薄膜的微结构及光学性能研究 张健 巴德纯 赵崇凌 刘坤 杜广煜 ThemicrostructureandopticalpropertiesofSiN depositedbylinearmicrowavechemicalvapordepo- sition ZhangJian BaDe-Chun ZhaoChong-Ling LiuKun Du Guang-Yu 引用信息Citation: ActaPhysicaSinica, ,067801(2015) DOI: 10.7498/aps.64.067801 在线阅读Viewonline: /10.7498/aps.64.067801 当期内容Viewtableofcontents: /CN/Y2015/V64/I6 您可能感兴趣的其他文章 Articlesyoumaybeinterestedin 包埋Pt纳米粒子对金属-半导体-金属结构ZnO 紫外光电探测器性能的影响 Effect of Pt NPs in the film on the performances of ZnO-based metal-semiconductor-metal s