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静电防护管制作业
ESD防护
1、目的:
为明确规范公司ESD管制技术标准,以及在整个生产过程中提供ESD防护及控制技术支持,完善公司ESD体系,从而达到提高客户满意度的最终目的。
2、范围:
本规范适用于整个制造及运输过程。
3、定义:
ESD:Electrostatic Discharge 静电释放。
EPA:静电防护区
ESSD:静电敏感元器件
静电:物体间因为相互摩擦而导致正负离子在接触表面聚集,当离子数量聚集到一定数量时,在表面产生电压,这就是静电。
4.程序:
4.1 EPA区域的划分:
4.1.1 EPA区必须具备以下基本环境要求:有明确的区域界限和防静电标示,对区域内所有导体和人员可靠接地。
4.1.2 EPA静电敏感度等级:
4.1.2.1静电敏感度等级防范要求为200V,应尽量避免200V以上静电荷源,如无法避免,需采取有效方式消除。
4.1.2.2采用防静电标示与其它区域隔开,未采取有效防静电措施的人员,物料,设备,工具等皆不能进入。
4.1.2.3进入静电防护区域的人员应做好防静电要求,包括防静电工衣,静电鞋,静电帽,手腕带等测试合格后方可进入。
4.2 EPA的ESD控制措施;
EPA控制措施按照下表实施:
ESD控制措施 要求 ESD控制措施 要求 静电电压控制标准 小于200V 辅助工具防静电 要求 防静电标示 要求 静电材料禁止带入EPA 要求 防静电地板或地垫 要求 区域封闭性 可选 防静电桌垫 要求 出口控制 可选 防静电腕带 要求 静电电压表 可选 防静电手套,指套 要求 表面电阻测试仪 可选 防静电工作服 要求 人体综合测试仪 要求 防静电工作鞋 要求 接地系统测试仪 可选 防静电工作椅 要求 离子风机 要求 防静电周转工具 要求 例子风机测试仪 要求 防静电包装材料 要求 防静电资料夹 可选 防静电烙铁 要求 防静电液 要求 防静电吸锡器 要求 办公区 独立区域 4.3 EPA标示;
防静电工作区,防静电包装材料,防静电周转工具和设备仪器的接地都应该有防静电标示。防静电标示的作用是警告任何靠近防静电区域的人员,必须按照防静电的标准规范进行操作。
4.3.1任何防静电工作区都必须有明确的区域标示,除非此区域是在防静电安全工作区内。标示上应有注意说明,如“注意,静电安全工作区”或同意语,不可用“注意”,“静电”,“危险”等词。EPA标示所在位置及大小应保证至少在距离EPA区域外1米处可见。
4.3.2应该使用黄黑相间的防静电地板胶带将每个防静电区域围起,并在比较显眼的胶带的入口处和中间位置贴上EPA区域边缘标记,其宽度为4-5cm,如下图所示。
4.3.4 防静电器材,工具及静电敏感组件都应有明显的标示,如下图所示,
4.3.5有直接接触静电敏感组件的设备需贴上静电敏感设备标示,如下图所示
4.4 EPA的工程环境的防静电规范;
4.4.1 EPA环境要求:
EPA区的温度应该控制在18℃-30℃,湿度应该控制在30%-70%,区域内应配备温湿度计,并在每天开工前进行点检记录,如点检结果不符合要求,应立即通知厂务进行处理,每月的温湿度点检记录应分类保存,保存年限在两年以上。
4.4.2 地面的技术要求;
4.4.2.1地板的防静电要求:为使人体静电能及时有效地通过地板泄漏到大地上,要求地板具有一定的导电性能,如下表为各种地板的泄漏电阻。(单位:Ω)
地坪材料名称 泄漏电阻 地坪材料名称 泄漏电阻 石 104-109 沥青 1011-1013 混凝土 105-1010 聚氯乙烯 1012-1015 一般刷漆地面 109-1012 导电性水磨石 105-107 橡胶 109-1013 导电性橡胶 104-108 木,木胶合板 1010-1013 导电性聚氯乙烯 107-1011
4.4.2.2 防静电地板的定期检查与维护保养;
检查测量应在标准温湿度条件下进行,当地面附有绝缘性的油膜,树脂,橡胶或是其它脏污时,应根据实际情况定期清除,清扫防静电地板时候不可使用绝缘性的地板蜡。
4.4.3 EPA的防静电接地保护技术要求;
4.4.3.1 接地线:接地主干线的截面积应不小于35mm2 ,支干线的截面积应不小于 16mm2 ,工作台及设备静
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