电涡流传感器热稳定性标定技术-太赫兹科学与电子信息学报.pdfVIP

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2018-08-19 发布于天津
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电涡流传感器热稳定性标定技术-太赫兹科学与电子信息学报.pdf

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第 12 卷第 6 期太赫兹科学与电子信息学报 Vo1．12，No．6 2014 年 12 月 Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology Dec．，2014 文章编号：2095-4980(2014)06-0937-05 电涡流传感器热稳定性标定技术 a,b a,b a,b a,b a,b a,b 李国会，杨媛，何忠武，田飞，向汝建，徐宏来 ( 中国工程物理研究院 a.高能激光科学与技术重点实验室；b.应用电子学研究所，四川绵阳 621999) 摘要：介绍电涡流传感器位移测量原理，分析温度变化时传感器线圈和探头热胀冷缩在测量位移过程中造成的温度漂移现象。针对传感器的温漂，研制出具有温度补偿功能的电涡流传感器热稳定性标定装置，对传感器输出电压进行温度补偿，减小温度变化对传感器输出电压的影响。同时介绍利用该装置进行温度标定的实现方法，并进行实验验证，实现固定位移条件下环境温度变化时对电涡流传感器输出电压的标定，与无温度补偿时输出电压对比，电压变化量减小了近50% 。关键词：电涡流传感器；温度漂移；温度补偿；热稳定性中图分类号：TN911.72 ；TP382 文献标识码： A doi ：10.11805/TKYDA201406.0937 Research on the test of temperature stability calibration device for eddy current sensor a,b a,b a,b a,b a,b a,b LI Guo-hui ，YANG Yuan ，HE Zhong-wu ，TIAN Fei ，XIANG Ru-jian ，XU Hong-lai (a.Key Laboratory of Science and Technology on High Energy Laser；b.Institute of Applied Electronics， China Academy of Engineering Physics，Mianyang Sichuan 621999，China) Abstract：The displacement detection principle of eddy current sensor is introduced. The temperature drifting phenomena occurred in measuring displacement are analyzed, which are caused by thermal expansion and contraction of sensor winding and detector. Referring to the temperature drifting of sensor, a calibrating device with compensating function of eddy current sensor is manufactured, a